Fasahar adana sinadarai ta plasma mai ƙarfi da aka inganta ta amfani da bindigar baka mai zafi don fitar da plasma mai ƙarfi, wanda aka taƙaita shi da fasahar PECVD mai zafi. Wannan fasaha tana kama da fasahar rufe ion mai zafi da aka samu ta hanyar rufe ion mai zafi, amma bambancin shine cewa fim ɗin da aka samu ta hanyar rufe ion mai zafi yana amfani da kwararar electron mai haske ta hanyar bindigar baka mai zafi don dumama da ƙafe ƙarfe a cikin bututun, yayin da hasken waya mai zafi PECVD ke ciyar da iskar gas mai amsawa, kamar CH4 da H2, waɗanda ake amfani da su don ajiye fina-finan lu'u-lu'u. Ta hanyar dogaro da kwararar iskar gas mai yawan yawa da bindigar baka mai zafi ke fitarwa, ions ɗin iskar gas mai amsawa suna farin ciki don samun barbashi masu aiki daban-daban, gami da ions na iskar gas, ions na atomic, ƙungiyoyi masu aiki, da sauransu.
A cikin na'urar PECVD mai zafi, ana sanya na'urorin lantarki guda biyu a wajen ɗakin rufewa, wanda hakan ke haifar da yawan kwararar lantarki mai yawa yayin motsi zuwa ga anode, wanda ke ƙara yiwuwar karo da ionization tsakanin kwararar lantarki da iskar gas mai amsawa. Hakanan na'urar lantarki mai haɗawa za ta iya haɗuwa zuwa ginshiƙin baka don ƙara yawan plasma na ɗakin ajiyar gaba ɗaya. A cikin plasma mai baka, yawan waɗannan ƙwayoyin da ke aiki yana da yawa, wanda hakan ke sauƙaƙa sanya fina-finan lu'u-lu'u da sauran layukan fim a kan aikin.
——An fitar da wannan labarin ne ta hanyar kamfanin fasahar Guangdong Zhenhua, wani kamfanin fasahaƙera injunan rufe ido na gani.
Lokacin Saƙo: Mayu-05-2023