A tecnulugia di deposizione chimica di vapore di plasma di l'arcu di filu caldu utilizza a pistola d'arcu di filu caldu per emette plasma d'arcu, abbreviata cum'è a tecnulugia PECVD d'arcu di filu caldu.Sta tecnulugia hè simile à a tecnulugia di rivestimentu di ioni di pistola d'arcu di filu caldu, ma a diffarenza hè chì u film solidu ottenutu da u revestimentu di ioni di pistola d'arcu di filu caldu usa u flussu di elettroni di luce d'arcu emessi da a pistola d'arcu di filu caldu per riscalda è evapora u metallu in u crucible, mentri l 'arcu di luce calda filu PECVD hè alimentatu cù gasi riazzioni, comu CH4 è H2, chì sò usati per depositing films diamante.Fiendu à u currente di scaricamentu d'arcu d'alta densità emessu da a pistola d'arcu di filu caldu, i ioni di gas reattivi sò entusiasmati per ottene diverse particelle attive, cumprese ioni di gas, ioni atomici, gruppi attivi, etc.
In u dispusitivu PECVD di l'arcu di filu caldu, duie bobine elettromagnetiche sò sempre stallate fora di a sala di rivestimentu, facendu chì u flussu di l'elettroni d'alta densità rote durante u muvimentu versu l'anodu, aumentendu a probabilità di collisione è ionizazione trà u flussu di l'elettroni è u gasu di reazione. .A bobina elettromagnetica pò ancu cunverge in una colonna d'arcu per aumentà a densità di plasma di tutta a camera di deposizione.In u plasma d'arcu, a densità di sti particeddi attivi hè alta, facendu più faciule per dipositu filmi di diamanti è altre strati di film nantu à a pezza.
——Stu articulu hè statu liberatu da Guangdong Zhenhua Technology, afabricatore di macchine di rivestimentu otticu.
Tempu di post: May-05-2023