تقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بقوس السلك الساخن

تستخدم تقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما باستخدام قوس السلك الساخن مسدس قوس السلك الساخن لإصدار بلازما القوس، ويُشار إليها اختصارًا بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما باستخدام قوس السلك الساخن. تشبه هذه التقنية تقنية طلاء الأيونات باستخدام مسدس قوس السلك الساخن، لكن الفرق يكمن في أن الطبقة الصلبة المُحصل عليها بتقنية طلاء الأيونات باستخدام مسدس قوس السلك الساخن تعتمد على تدفق الإلكترونات الضوئية المنبعثة من مسدس قوس السلك الساخن لتسخين وتبخير المعدن في البوتقة، بينما تعتمد تقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما باستخدام قوس السلك الساخن على غازات التفاعل، مثل الميثان والهيدروجين، والتي تُستخدم لترسيب طبقات الماس. بالاعتماد على تيار تفريغ القوس عالي الكثافة المنبعث من مسدس قوس السلك الساخن، تُثار أيونات الغاز التفاعلية للحصول على جسيمات نشطة متنوعة، بما في ذلك أيونات الغاز، والأيونات الذرية، والمجموعات النشطة، وما إلى ذلك.

في جهاز الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما ذي القوس الكهربائي الساخن، لا يزال ملفان كهرومغناطيسيان مثبتين خارج حجرة الطلاء، مما يؤدي إلى دوران تدفق الإلكترونات عالي الكثافة أثناء تحركه نحو المصعد، وبالتالي زيادة احتمالية التصادم والتأين بين تدفق الإلكترونات وغاز التفاعل. كما يمكن للملف الكهرومغناطيسي أن يتقارب في عمود قوس كهربائي لزيادة كثافة البلازما في حجرة الترسيب بأكملها. في بلازما القوس الكهربائي، تكون كثافة هذه الجسيمات النشطة عالية، مما يسهل ترسيب طبقات الماس وغيرها من الطبقات الرقيقة على قطعة العمل.

——تم نشر هذا المقال بواسطة شركة قوانغدونغ تشنهوا للتكنولوجيا، وهي شركةشركة مصنعة لآلات الطلاء البصري.