O le tekinolosi fa'aputuina o le ausa kemikolo plasma fa'amalosia e fa'aaogaina ai le fana fa'aputu uaea vevela e fa'asalalau ai le plasma fa'aputu uaea vevela, e fa'apu'upu'uina o le tekinolosi PECVD fa'aputu uaea vevela. E tutusa lenei tekinolosi ma le tekinolosi ufiufi ion o le fana fa'aputu uaea vevela, ae o le eseesega o le ata mafiafia e maua mai le ufiufi ion o le fana fa'aputu uaea vevela e fa'aaogaina ai le tafe o le eletise o le malamalama fa'aputu uaea vevela e fa'avevela ma fa'amamago ai le u'amea i totonu o le ogaumu, ae o le PECVD fa'aputu uaea vevela e fafaga i kasa fa'aoso, e pei o le CH4 ma le H2, lea e fa'aaogaina mo le teuina o ata taimane. I le fa'alagolago i le tafe maualuga o le arc e fa'asalalauina e le fana fa'aputu uaea vevela, e fiafia ai ion kesi fa'aoso e maua ai ni vaega eseese o lo'o galulue, e aofia ai ion kesi, ion atomika, vaega o lo'o galulue, ma isi mea fa'apena.
I le masini PECVD uaea vevela, e lua uaea eletise eletise o loʻo faʻapipiʻiina pea i fafo o le potu ufiufi, ma mafua ai ona feliuliuaʻi le tafe o le eletise maualuga i le taimi o le gaioiga agai i le anode, ma faʻateleina ai le avanoa o le fetoʻai ma le ionization i le va o le tafe o le eletise ma le kesi tali. E mafai foʻi e le uaea eletise eletise ona faʻapotopoto i totonu o se koluma arc e faʻateleina ai le mamafa o le plasma o le potu faʻaputuga atoa. I le plasma arc, e maualuga le mamafa o nei vaega gaioi, ma faigofie ai ona faʻaputu ata taimane ma isi vaega ata i luga o le workpiece.
——O lenei tusiga na faʻasalalauina e le Guangdong Zhenhua Technology, o segaosi oloa o masini ufiufi opitika.
Taimi na lafoina ai: Me-05-2023