Технологията за плазмено химическо отлагане на пари с усилена дъга с гореща тел използва пистолета за дъга с гореща тел за излъчване на дъгова плазма, съкратено като технология PECVD с гореща дъга.Тази технология е подобна на технологията за йонно покритие с пистолет с гореща дъга, но разликата е, че твърдият филм, получен чрез йонно покритие с пистолет с гореща дъга, използва електронен поток от светлина на дъгата, излъчван от пистолета с гореща дъга, за да нагрее и изпари метала в тигелът, докато дъговата светлина с гореща тел PECVD се захранва с реакционни газове, като CH4 и H2, които се използват за отлагане на диамантени филми.Като се разчита на тока на дъговия разряд с висока плътност, излъчван от пистолета с гореща жица, реактивните газови йони се възбуждат, за да получат различни активни частици, включително газови йони, атомни йони, активни групи и т.н.
В устройството PECVD с гореща дъга, две електромагнитни намотки все още са инсталирани извън помещението за нанасяне на покритие, което кара електронния поток с висока плътност да се върти по време на движението към анода, увеличавайки вероятността от сблъсък и йонизация между електронния поток и реакционния газ .Електромагнитната бобина може също така да се слее в дъгова колона, за да увеличи плазмената плътност на цялата камера за отлагане.В дъговата плазма плътността на тези активни частици е висока, което улеснява отлагането на диамантени филми и други филмови слоеве върху детайла.
——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology, aпроизводител на машини за оптично покритие.
Време на публикуване: 5 май 2023 г