Ысык зым жаасы менен күчөтүлгөн плазма химиялык буу чөктүрүү технологиясы ысык зым жаасы мылтыгын колдонуп, жаа плазмасын чыгарат, ал ысык зым жаасы PECVD технологиясы деп кыскартылат. Бул технология ысык зым жаасы мылтыгын иондук каптоо технологиясына окшош, бирок айырмасы, ысык зым жаасы мылтыгын иондук каптоо менен алынган катуу пленка ысык зым жаасы мылтыгынан чыккан жаа жарыгынын электрон агымын колдонуп, тигельдеги металлды ысытат жана буулантат, ал эми ысык зым жаасы PECVD алмаз пленкаларын чөктүрүү үчүн колдонулган CH4 жана H2 сыяктуу реакция газдары менен камсыздалат. Ысык зым жаасы мылтыгынан чыккан жогорку тыгыздыктагы жаа разряддоо тогуна таянуу менен, реактивдүү газ иондору газ иондору, атомдук иондор, активдүү топтор ж.б. сыяктуу ар кандай активдүү бөлүкчөлөрдү алуу үчүн дүүлүктүрүлөт.
Ысык зымдуу жаалуу PECVD түзүлүшүндө каптоо бөлмөсүнүн сыртында дагы эле эки электромагниттик катушка орнотулган, бул анодго карай кыймыл учурунда жогорку тыгыздыктагы электрон агымынын айланышына алып келет, бул электрон агымы менен реакция газынын ортосундагы кагылышуу жана иондоштуруу ыктымалдыгын жогорулатат. Электромагниттик катушка ошондой эле бүтүндөй чөкмө камерасынын плазма тыгыздыгын жогорулатуу үчүн жаа мамычасына конвергенцияланышы мүмкүн. Жаа плазмасында бул активдүү бөлүкчөлөрдүн тыгыздыгы жогору, бул алмаз пленкаларын жана башка пленка катмарларын даярдалган бөлүккө чөктүрүүнү жеңилдетет.
——Бул макала Guangdong Zhenhua Technology тарабынан жарыяланганоптикалык каптоо машиналарын өндүрүүчү.
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 5-майы