(1) Püskürýän gaz. Püskürýän gaz ýokary püskürme öndürijiligi, maksatly materiala garşy inertligi, arzanlygy, ýokary arassalygy we beýleki häsiýetlere eýe bolmaly. Umuman aýdanyňda, argon iň amatly püskürýän gazdyr.
(2) Püskürtme naprýaženiýesi we substrat naprýaženiýesi. Bu iki parametr plýonkanyň häsiýetlerine möhüm täsir edýär, püskürtme naprýaženiýesi diňe çökme tizligine täsir etmän, eýsem çökdürilen plýonkanyň gurluşyna hem düýpli täsir edýär. Substrat potensialy adamyň inýeksiýasynyň elektron ýa-da ion akymyna gönüden-göni täsir edýär. Eger substrat topraklanan bolsa, oňa deň derejeli elektronlar hüjüm edýär; eger substrat asylgy bolsa, ol ýagtylyk boşaltma zolagynda ýerleşýär we asma potensialy V1-iň ýere garanyňda birneme negatiw potensialyny alýar we substrat V2-niň töweregindäki plazmanyň potensialy substrat potensialyndan ýokary bolýar, bu bolsa elektronlaryň we oňyn ionlaryň belli bir derejede bombardman edilmegine sebäp bolýar, bu bolsa plýonkanyň galyňlygynda, düzüminde we beýleki häsiýetlerinde üýtgeşikliklere getirýär: eger substrat maksatly taýdan egrilik naprýaženiýesini ulansa, elektronlaryň ýa-da ionlaryň elektrik kabul edilişiniň polýarlygyna laýyk gelse, substraty arassalap we plýonkanyň ýelmeşmegini güýçlendirip bilmän, eýsem plýonkanyň gurluşyny hem üýtgedip biler. Radio ýygylykly püskürtme örtüginde, geçiriji membrananyň taýýarlanmagy we DC täsiri: dielektrik membrananyň taýýarlanmagy we sazlama täsiri.
(3) Substratyň temperaturasy. Substratyň temperaturasy plýonkanyň içki stresine has uly täsir edýär, sebäbi temperatura substratda ýerleşdirilen atomlaryň işjeňligine gönüden-göni täsir edýär we şeýlelik bilen plýonkanyň düzümini, gurluşyny, ortaça dänejik ölçegini, kristalyň ugruny we doly dälligini kesgitleýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 5-nji ýanwary