(1) Khase e qhatsang. Khase e qhatsang e lokela ho ba le litšobotsi tsa ho qhatsa ho hoholo, ho se kenelle thepa e reriloeng, ho theko e tlase, ho bonolo ho e fumana e hloekile haholo le litšobotsi tse ling. Ka kakaretso, argon ke khase e qhatsang e loketseng haholoanyane.
(2) Motlakase o qhalanang le motlakase oa substrate. Liparamitha tsena tse peli li na le tšusumetso ea bohlokoa litšobotsing tsa filimi, motlakase o qhalanang ha o ame feela sekhahla sa ho beoa, empa hape o ama ka botebo sebopeho sa filimi e beiloeng. Monyetla oa substrate o ama ka ho toba phallo ea elektrone kapa ion ea ente ea motho. Haeba substrate e thehiloe fatše, e hlaseloa ke lielektrone tse lekanang; haeba substrate e emisitsoe, e sebakeng sa ho ntša khanya ho fumana bokhoni bo bobe hanyane mabapi le mobu oa bokhoni ba ho qhalana V1, 'me bokhoni ba plasma bo potileng substrate V2 bo phahame ho feta bokhoni ba substrate, e leng se tla hlahisa tekanyo e itseng ea ho phatloha ha lielektrone le li-ion tse ntle, e leng se fellang ka liphetoho botenya ba filimi, sebopeho le litšobotsi tse ling: haeba substrate e sebelisitse motlakase oa bias ka boomo, hoo e lumellanang le polarity ea kamohelo ea motlakase ea lielektrone kapa li-ion, e seng feela e ka hloekisang substrate le ho ntlafatsa ho khomarela ha filimi, empa hape e fetola sebopeho sa filimi. Ho roala ha maqhubu a seea-le-moea, ho lokisoa ha lera la conductor hammoho le bias ea DC: ho lokisoa ha lera la dielectric hammoho le bias ea tuning.
(3) Mocheso oa substrate. Mocheso oa substrate o na le tšusumetso e kholo khatellong ea ka hare ea filimi, e bakoang ke mocheso o amang ka ho toba ts'ebetso ea liathomo tse behiloeng holim'a substrate, kahoo ho khethoa sebopeho sa filimi, sebopeho, boholo ba karolelano ea lijo-thollo, tataiso ea kristale le ho se fele.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Pherekhong-05-2024

