(1) Gas na nagbubuga ng bula. Ang gas na nagbubuga ng bula ay dapat magkaroon ng mga katangian ng mataas na ani ng bula, hindi gumagalaw sa materyal na target, mura, madaling makuha ang mataas na kadalisayan at iba pang mga katangian. Sa pangkalahatan, ang argon ang mas mainam na gas na nagbubuga ng bula.
(2) Boltahe ng sputtering at boltahe ng substrate. Ang dalawang parameter na ito ay may mahalagang epekto sa mga katangian ng film, ang boltahe ng sputtering ay hindi lamang nakakaapekto sa rate ng deposition, kundi seryosong nakakaapekto rin sa istruktura ng idinepositong film. Ang potensyal ng substrate ay direktang nakakaapekto sa daloy ng electron o ion ng iniksyon ng tao. Kung ang substrate ay naka-ground, ito ay binomba ng mga katumbas na electron; kung ang substrate ay nakabitin, ito ay nasa glow discharge area upang makakuha ng bahagyang negatibong potensyal na may kaugnayan sa ground ng potensyal ng suspension na V1, at ang potensyal ng plasma sa paligid ng substrate na V2 ay magiging mas mataas kaysa sa potensyal ng substrate, na magbubunga ng isang tiyak na antas ng pagbomba ng mga electron at positibong ion, na magreresulta sa mga pagbabago sa kapal, komposisyon, at iba pang katangian ng film: kung ang substrate ay sadyang naglapat ng bias voltage, upang ito ay naaayon sa polarity ng electrical acceptance ng mga electron o ion, hindi lamang nito mapadalisay ang substrate at mapapahusay ang adhesion ng film, kundi mababago rin ang istruktura ng film. Sa radio frequency sputtering coating, ang paghahanda ng conductor membrane kasama ang DC bias: ang paghahanda ng dielectric membrane kasama ang tuning bias.
(3) Temperatura ng substrate. Ang temperatura ng substrate ay may mas malaking epekto sa panloob na stress ng pelikula, na dahil sa direktang epekto ng temperatura sa aktibidad ng mga idinepositong atomo sa substrate, kaya tinutukoy ang komposisyon ng pelikula, istraktura, karaniwang laki ng butil, oryentasyon ng kristal at hindi pagkakumpleto.
–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng pag-post: Enero-05-2024