(१) स्पटरिंग वायू. स्पटरिंग वायूमध्ये उच्च स्पटरिंग उत्पन्न, लक्ष्य सामग्रीशी अक्रियता, स्वस्तपणा, उच्च शुद्धता सहज मिळवणे आणि इतर वैशिष्ट्ये असावीत. सर्वसाधारणपणे, आर्गॉन हा अधिक आदर्श स्पटरिंग वायू आहे.
(२) स्पटरिंग व्होल्टेज आणि सबस्ट्रेट व्होल्टेज. या दोन पॅरामीटर्सचा फिल्मच्या वैशिष्ट्यांवर महत्त्वाचा परिणाम होतो. स्पटरिंग व्होल्टेज केवळ डिपॉझिशन दरावरच परिणाम करत नाही, तर डिपॉझिट झालेल्या फिल्मच्या संरचनेवरही गंभीर परिणाम करते. सबस्ट्रेट पोटेन्शिअल मानवी इंजेक्शनद्वारे होणाऱ्या इलेक्ट्रॉन किंवा आयन प्रवाहावर थेट परिणाम करते. जर सबस्ट्रेट ग्राउंड केले असेल, तर त्यावर समतुल्य इलेक्ट्रॉन्सचा मारा होतो; जर सबस्ट्रेट निलंबित (सस्पेंडेड) असेल, तर ते ग्लो डिस्चार्ज क्षेत्रात असते, ज्यामुळे सस्पेंशन पोटेन्शिअल V1 च्या ग्राउंडच्या तुलनेत किंचित नकारात्मक पोटेन्शिअल प्राप्त होते, आणि सबस्ट्रेटच्या सभोवतालच्या प्लाझ्माचे पोटेन्शिअल V2 हे सबस्ट्रेट पोटेन्शिअलपेक्षा जास्त असते. यामुळे इलेक्ट्रॉन्स आणि पॉझिटिव्ह आयन्सचा एका विशिष्ट प्रमाणात मारा होतो, परिणामी फिल्मची जाडी, रचना आणि इतर वैशिष्ट्यांमध्ये बदल होतात. जर सबस्ट्रेटवर हेतुपुरस्सर बायस व्होल्टेज लावले गेले, जेणेकरून ते इलेक्ट्रॉन्स किंवा आयन्सच्या विद्युत स्वीकृतीच्या ध्रुवीयतेनुसार असेल, तर ते केवळ सबस्ट्रेटला शुद्ध करून फिल्मचे आसंजन (अॅडेशन) वाढवत नाही, तर फिल्मची रचना देखील बदलू शकते. रेडिओ फ्रिक्वेन्सी स्पटरिंग कोटिंगमध्ये, कंडक्टर मेम्ब्रेनची तयारी अधिक डीसी बायस: डायलेक्ट्रिक मेम्ब्रेनची तयारी अधिक ट्यूनिंग बायस.
(3) सब्सट्रेटचे तापमान. सब्सट्रेटच्या तापमानाचा फिल्मच्या अंतर्गत ताणावर मोठा परिणाम होतो, कारण तापमान सब्सट्रेटवर जमा झालेल्या अणूंच्या क्रियेवर थेट परिणाम करते, त्यामुळे फिल्मची रचना, संरचना, सरासरी कण आकार, क्रिस्टल अभिमुखता आणि अपूर्णता निश्चित होते.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: ०५-जानेवारी-२०२४