(1) স্পাটারিং গ্যাস। স্পাটারিং গ্যাসের উচ্চ স্পাটারিং ইল্ড, টার্গেট উপাদানের প্রতি নিষ্ক্রিয়তা, সস্তা দাম, উচ্চ বিশুদ্ধতা সহজে প্রাপ্তিসাধ্য হওয়ার মতো বৈশিষ্ট্য থাকা উচিত। সাধারণভাবে, আর্গনই সবচেয়ে আদর্শ স্পাটারিং গ্যাস।
(2) স্পাটারিং ভোল্টেজ এবং সাবস্ট্রেট ভোল্টেজ। এই দুটি প্যারামিটার ফিল্মের বৈশিষ্ট্যের উপর গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে, স্পাটারিং ভোল্টেজ কেবল জমা হওয়ার হারকেই প্রভাবিত করে না, বরং জমা হওয়া ফিল্মের গঠনকেও গুরুতরভাবে প্রভাবিত করে। সাবস্ট্রেট পটেনশিয়াল সরাসরি ইলেকট্রন বা আয়ন প্রবাহকে প্রভাবিত করে। যদি সাবস্ট্রেট গ্রাউন্ডেড থাকে, তবে এটি সমতুল্য ইলেকট্রন দ্বারা বোমাবর্ষণের শিকার হয়; যদি সাবস্ট্রেট সাসপেন্ডেড থাকে, তবে এটি গ্লো ডিসচার্জ এলাকায় সাসপেনশন পটেনশিয়াল V1 গ্রাউন্ডের তুলনায় সামান্য নেতিবাচক পটেনশিয়াল লাভ করে, এবং সাবস্ট্রেটের চারপাশের প্লাজমার পটেনশিয়াল V2 সাবস্ট্রেট পটেনশিয়ালের চেয়ে বেশি হয়, যা ইলেকট্রন এবং ধনাত্মক আয়নের একটি নির্দিষ্ট মাত্রার বোমাবর্ষণের জন্ম দেবে, যার ফলে ফিল্মের পুরুত্ব, গঠন এবং অন্যান্য বৈশিষ্ট্যে পরিবর্তন আসবে: যদি সাবস্ট্রেটে ইচ্ছাকৃতভাবে বায়াস ভোল্টেজ প্রয়োগ করা হয়, যাতে এটি ইলেকট্রন বা আয়নের বৈদ্যুতিক গ্রহণের পোলারিটির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হয়, তবে এটি কেবল সাবস্ট্রেটকে বিশুদ্ধ করতে এবং ফিল্মের আনুগত্য বাড়াতে পারে না, বরং ফিল্মের গঠনও পরিবর্তন করতে পারে। রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্পাটারিং কোটিং-এ, কন্ডাক্টর মেমব্রেন প্রস্তুতি ও ডিসি বায়াস: ডাইইলেকট্রিক মেমব্রেন প্রস্তুতি ও টিউনিং বায়াস।
(3) সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা। ফিল্মের অভ্যন্তরীণ পীড়নের উপর সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রার একটি বৃহত্তর প্রভাব রয়েছে, কারণ তাপমাত্রা সরাসরি সাবস্ট্রেটে জমা হওয়া পরমাণুগুলির কার্যকলাপকে প্রভাবিত করে, যার ফলে ফিল্মের গঠন, কাঠামো, গড় দানার আকার, স্ফটিক অভিমুখীকরণ এবং অসম্পূর্ণতা নির্ধারিত হয়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ০৫-জানুয়ারি-২০২৪