(1) Gáàsì ìfọ́nká. Gáàsì ìfọ́nká yẹ kí ó ní àwọn ànímọ́ ìfọ́nká gíga, àìsí ìfarahàn sí ohun èlò tí a fẹ́ lò, ó rọrùn láti rí, ó rọrùn láti rí ní mímọ́ àti àwọn ànímọ́ mìíràn. Ní gbogbogbòò, argon ni gáàsì ìfọ́nká tó dára jùlọ.
(2) Fólítììmù ìfọ́nká àti fólítììmù ìfọ́nká. Àwọn pàrámítà méjì yìí ní ipa pàtàkì lórí àwọn ànímọ́ fíìmù náà, fólítììmù ìfọ́nká kìí ṣe pé ó ní ipa lórí ìwọ̀n ìfipamọ́ nìkan, ṣùgbọ́n ó tún ní ipa lórí ìṣètò fíìmù tí a fi pamọ́ gidigidi. Agbára substrate ní ipa taara lórí ìṣàn elekitironi tàbí ion ti abẹ́rẹ́ ènìyàn. Tí substrate náà bá ní ilẹ̀, àwọn elekitironi tó báramu ni a ó fi bombarded rẹ̀; tí substrate náà bá dúró, ó wà ní agbègbè ìtújáde ìmọ́lẹ̀ láti gba agbára odi díẹ̀ ní ìbámu pẹ̀lú ilẹ̀ ti agbára ìdádúró V1, àti agbára plasma tí ó yí substrate V2 ká láti ga ju agbára substrate lọ, èyí tí yóò fa ìpele kan ti bombering ti elekitironi àti àwọn ion rere, èyí tí yóò yọrí sí àwọn ìyípadà nínú sisanra fíìmù náà, àkójọpọ̀, àti àwọn ànímọ́ mìíràn: tí substrate náà bá ní èrò láti lo folítììmù ìfọ́nká, kí ó baà lè bá polarity ti gbígbà electrons tàbí ions, kìí ṣe pé ó lè sọ substrate náà di mímọ́ kí ó sì mú kí ìsopọ̀ fíìmù náà sunwọ̀n sí i nìkan, ṣùgbọ́n ó tún lè yí ìṣètò fíìmù náà padà. Nínú ìbòrí sputtering frequency radio, ìmúrasílẹ̀ ti membrane conductor pẹ̀lú DC bias: ìmúrasílẹ̀ ti membrane dielectric pẹ̀lú tuning bias.
(3) Iwọn otutu inu ilẹ. Iwọn otutu inu ilẹ ni ipa ti o tobi julọ lori wahala inu fiimu naa, eyiti o jẹ nitori iwọn otutu taara ni ipa lori iṣẹ ti awọn atom ti a fi sinu ilẹ, nitorinaa o pinnu akopọ ti fiimu naa, eto, iwọn irugbin apapọ, itọsọna kirisita ati aito.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-05-2024