(1) स्पटरिंग गैस। स्पटरिंग गैस में उच्च स्पटरिंग उपज, लक्ष्य पदार्थ के प्रति निष्क्रियता, सस्तापन, उच्च शुद्धता प्राप्त करने में आसानी और अन्य गुण होने चाहिए। सामान्यतः, आर्गन सबसे आदर्श स्पटरिंग गैस है।
(2) स्पटरिंग वोल्टेज और सबस्ट्रेट वोल्टेज। ये दोनों पैरामीटर फिल्म की विशेषताओं पर महत्वपूर्ण प्रभाव डालते हैं। स्पटरिंग वोल्टेज न केवल जमाव दर को प्रभावित करता है, बल्कि जमा हुई फिल्म की संरचना को भी गंभीर रूप से प्रभावित करता है। सबस्ट्रेट पोटेंशियल सीधे मानव इंजेक्शन द्वारा इलेक्ट्रॉन या आयन प्रवाह को प्रभावित करता है। यदि सबस्ट्रेट ग्राउंडेड है, तो उस पर समतुल्य इलेक्ट्रॉनों की बमबारी होती है; यदि सबस्ट्रेट सस्पेंडेड है, तो यह ग्लो डिस्चार्ज क्षेत्र में होता है जिससे सस्पेंशन पोटेंशियल V1 के ग्राउंड के सापेक्ष थोड़ा ऋणात्मक पोटेंशियल प्राप्त होता है, और सबस्ट्रेट के चारों ओर प्लाज्मा का पोटेंशियल V2 सबस्ट्रेट पोटेंशियल से अधिक होता है, जिससे इलेक्ट्रॉनों और धनात्मक आयनों की एक निश्चित मात्रा में बमबारी होती है, जिसके परिणामस्वरूप फिल्म की मोटाई, संरचना और अन्य विशेषताओं में परिवर्तन होता है। यदि सबस्ट्रेट पर जानबूझकर बायस वोल्टेज लगाया जाता है, ताकि यह इलेक्ट्रॉनों या आयनों के विद्युत स्वीकृति की ध्रुवीयता के अनुरूप हो, तो न केवल सबस्ट्रेट को शुद्ध किया जा सकता है और फिल्म के आसंजन को बढ़ाया जा सकता है, बल्कि फिल्म की संरचना को भी बदला जा सकता है। रेडियो फ्रीक्वेंसी स्पटरिंग कोटिंग में, कंडक्टर झिल्ली की तैयारी के साथ-साथ डीसी बायस; डाइइलेक्ट्रिक झिल्ली की तैयारी के साथ-साथ ट्यूनिंग बायस।
(3) सबस्ट्रेट तापमान। फिल्म के आंतरिक तनाव पर सबस्ट्रेट तापमान का अधिक प्रभाव पड़ता है, क्योंकि तापमान सीधे सबस्ट्रेट पर जमा परमाणुओं की गतिविधि को प्रभावित करता है, इस प्रकार फिल्म की संरचना, औसत कण आकार, क्रिस्टल अभिविन्यास और अपूर्णता को निर्धारित करता है।
–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: 05 जनवरी 2024