(1) స్పుటరింగ్ గ్యాస్. స్పుటరింగ్ గ్యాస్కు అధిక స్పుటరింగ్ యీల్డ్, టార్గెట్ మెటీరియల్కు జడత్వం, చౌకగా ఉండటం, అధిక స్వచ్ఛతను సులభంగా పొందడం వంటి లక్షణాలు ఉండాలి. సాధారణంగా చెప్పాలంటే, ఆర్గాన్ మరింత ఆదర్శవంతమైన స్పుటరింగ్ గ్యాస్.
(2) స్పుటరింగ్ వోల్టేజ్ మరియు సబ్స్ట్రేట్ వోల్టేజ్. ఈ రెండు పారామీటర్లు ఫిల్మ్ యొక్క లక్షణాలపై ముఖ్యమైన ప్రభావాన్ని చూపుతాయి, స్పుటరింగ్ వోల్టేజ్ డిపాజిషన్ రేటును ప్రభావితం చేయడమే కాకుండా, డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్ యొక్క నిర్మాణాన్ని కూడా తీవ్రంగా ప్రభావితం చేస్తుంది. సబ్స్ట్రేట్ పొటెన్షియల్, ఎలక్ట్రాన్ లేదా అయాన్ల ప్రవాహాన్ని నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది. సబ్స్ట్రేట్ను గ్రౌండ్ చేస్తే, అది సమానమైన ఎలక్ట్రాన్లచే తాకబడుతుంది; సబ్స్ట్రేట్ను వేలాడదీస్తే, అది గ్లో డిశ్చార్జ్ ప్రాంతంలో ఉంటుంది, దీనివల్ల గ్రౌండ్కు సాపేక్షంగా కొద్దిగా నెగటివ్ పొటెన్షియల్ (సస్పెన్షన్ పొటెన్షియల్ V1) లభిస్తుంది, మరియు సబ్స్ట్రేట్ చుట్టూ ఉన్న ప్లాస్మా యొక్క పొటెన్షియల్ V2, సబ్స్ట్రేట్ పొటెన్షియల్ కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది, ఇది ఎలక్ట్రాన్లు మరియు పాజిటివ్ అయాన్ల యొక్క నిర్దిష్ట స్థాయి తాకిడికి దారితీస్తుంది, ఫలితంగా ఫిల్మ్ మందం, కూర్పు మరియు ఇతర లక్షణాలలో మార్పులు వస్తాయి: ఒకవేళ సబ్స్ట్రేట్కు ఉద్దేశపూర్వకంగా బయాస్ వోల్టేజ్ వర్తింపజేస్తే, అది ఎలక్ట్రాన్లు లేదా అయాన్ల విద్యుత్ స్వీకరణ యొక్క ధ్రువణతకు అనుగుణంగా ఉంటుంది, ఇది సబ్స్ట్రేట్ను శుద్ధి చేసి ఫిల్మ్ యొక్క అతుక్కునే గుణాన్ని పెంచడమే కాకుండా, ఫిల్మ్ యొక్క నిర్మాణాన్ని కూడా మార్చగలదు. రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్లో, కండక్టర్ పొర తయారీ మరియు DC బయాస్: డైఎలెక్ట్రిక్ పొర తయారీ మరియు ట్యూనింగ్ బయాస్.
(3) సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత. సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత ఫిల్మ్ యొక్క అంతర్గత ఒత్తిడిపై ఎక్కువ ప్రభావం చూపుతుంది, ఎందుకంటే ఉష్ణోగ్రత సబ్స్ట్రేట్పై నిక్షిప్తం చేయబడిన అణువుల కార్యాచరణను నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది, తద్వారా ఫిల్మ్ యొక్క కూర్పు, నిర్మాణం, సగటు గింజ పరిమాణం, క్రిస్టల్ ధోరణి మరియు అసంపూర్ణతను నిర్ణయిస్తుంది.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జనవరి-05-2024