(1) Гази пошидани газ. Гази пошидани газ бояд дорои хусусиятҳои ҳосилнокии баланди пошидани газ, нисбат ба маводи мавриди ҳадаф нофаъол, арзон, тозагии баланд ва дигар хусусиятҳо бошад. Умуман, аргон гази пошидани гази беҳтарин аст.
(2) Шиддати пошидани маводи мухаддир ва шиддати субстрат. Ин ду параметр ба хусусиятҳои плёнка таъсири муҳим мерасонанд, шиддати пошидани маводи мухаддир на танҳо ба суръати пошидани маводи мухаддир таъсир мерасонад, балки ба сохтори плёнкаи пошидани маводи мухаддир низ таъсири ҷиддӣ мерасонад. Потенсиали субстрат мустақиман ба ҷараёни электрон ё иони тазриқи инсон таъсир мерасонад. Агар субстрат ба замин пайваст карда шуда бошад, он аз ҷониби электронҳои баробар бомбаборон карда мешавад; агар субстрат овезон карда шуда бошад, он дар минтақаи холӣшавии дурахшон қарор дорад, то нисбат ба замин потенсиали овезонкунии V1 каме манфӣ ба даст орад ва потенсиали плазма дар атрофи субстрат V2 аз потенсиали субстрат баландтар бошад, ки боиси дараҷаи муайяни бомбаборони электронҳо ва ионҳои мусбат мегардад, ки боиси тағирёбии ғафсии плёнка, таркиб ва дигар хусусиятҳо мегардад: агар субстрат ба таври мақсаднок шиддати таассубро истифода барад, то он ба қутбияти қабули электрикии электронҳо ё ионҳо мувофиқат кунад, на танҳо метавонад субстратро тоза кунад ва часпиши плёнкаро беҳтар созад, балки сохтори плёнкаро низ тағйир диҳад. Дар рӯйпӯши пошидани басомади радио, омода кардани мембранаи ноқил ва таъсири DC: омода кардани мембранаи диэлектрикӣ ва таъсири танзим.
(3) Ҳарорати субстрат. Ҳарорати субстрат ба фишори дохилии плёнка таъсири бештар мерасонад, ки ин аз он сабаб аст, ки ҳарорат мустақиман ба фаъолияти атомҳои гузошташуда дар субстрат таъсир мерасонад ва бо ин васила таркиби плёнка, сохтор, андозаи миёнаи дона, самти кристалл ва нопурра будани онро муайян мекунад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: Ян-05-2024