(1) Чачыратуучу газ. Чачыратуучу газ жогорку чачыратуучу кубаттуулукка, максаттуу материалга инерттүүлүккө, арзандыкка, оңой алынуучу жогорку тазалыкка жана башка мүнөздөмөлөргө ээ болушу керек. Жалпысынан алганда, аргон эң идеалдуу чачыратуучу газ болуп саналат.
(2) Чачыратуу чыңалуусу жана субстраттын чыңалуусу. Бул эки параметр пленканын мүнөздөмөлөрүнө маанилүү таасир этет, чачыратуу чыңалуусу чөкмө ылдамдыгына гана таасир этпестен, ошондой эле чөкмө пленканын түзүлүшүнө олуттуу таасир этет. Субстраттын потенциалы адамдын инъекциясынын электрон же ион агымына түздөн-түз таасир этет. Эгерде субстрат жерге туташтырылган болсо, ал эквиваленттүү электрондор менен бомбаланат; эгерде субстрат асма абалда болсо, ал жаркыроо зонасында болуп, жерге карата V1 асма потенциалынын бир аз терс потенциалын алат жана субстраттын айланасындагы плазманын потенциалы V2 субстраттын потенциалынан жогору болот, бул электрондордун жана оң иондордун белгилүү бир деңгээлде бомбаланышына алып келет, натыйжада пленканын калыңдыгында, курамында жана башка мүнөздөмөлөрүндө өзгөрүүлөр болот: эгерде субстратка атайылап бир жактуу чыңалууну колдонсо, ал электрондордун же иондордун электрдик кабыл алуусунун полярдуулугуна ылайык келет, бул субстратты тазалап, пленканын адгезиясын күчөтүп гана тим болбостон, пленканын түзүлүшүн да өзгөртө алат. Радио жыштык чачыратуу каптоосунда өткөргүч мембрананы даярдоо жана туруктуу токтун жылышы: диэлектрик мембрананы даярдоо жана жөндөө жылышы.
(3) Субстраттын температурасы. Субстраттын температурасы пленканын ички чыңалуусуна көбүрөөк таасир этет, бул температуранын субстраттагы чөкмө атомдордун активдүүлүгүнө түздөн-түз таасир этишинен улам, пленканын курамын, түзүлүшүн, орточо дан өлчөмүн, кристаллдын багытын жана толук эместигин аныктайт.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 5-январы