Ihe ndị metụtara nhazi ihe nkiri Isi nke 1

(1) Gas na-agbapụta. Gas na-agbapụta kwesịrị inwe njirimara nke oke mmepụta sputtering, enweghị ike iru ihe achọrọ, dị ọnụ ala, dị mfe ịnweta ọcha dị elu na njirimara ndị ọzọ. N'ozuzu, argon bụ gas sputtering kacha mma.

(2) Voltaji na voltaji substrate. Paramita abụọ a nwere mmetụta dị mkpa na njirimara nke ihe nkiri ahụ, voltaji sputtering anaghị emetụta naanị ọnụego nkwụnye, kamakwa ọ na-emetụta nhazi nke ihe nkiri etinyebere nke ukwuu. Ike substrate na-emetụta kpọmkwem usoro electron ma ọ bụ ion nke ntụtụ mmadụ. Ọ bụrụ na substrate ahụ dị n'ala, elektrọn ndị yiri ya na-agba ya; ọ bụrụ na a kwụgidere substrate ahụ, ọ dị na mpaghara mwepụta ọkụ iji nweta obere ikike na-adịghị mma ma e jiri ya tụnyere ala nke ike nkwụsịtụ V1, yana ike nke plasma gburugburu substrate V2 ka ọ dị elu karịa ikike substrate ahụ, nke ga-ebute oke ụfọdụ nke bọmbụ elektrọn na ion dị mma, na-ebute mgbanwe na ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ, nhazi, na njirimara ndị ọzọ: ọ bụrụ na substrate ejiri voltaji bias mee ihe n'ụzọ ebumnuche, nke mere na ọ dabara na polarity nke nnabata eletriki nke elektrọn ma ọ bụ ion, ọ bụghị naanị nwere ike ime ka substrate ahụ dị ọcha ma melite njikọta nke ihe nkiri ahụ, kamakwa ịgbanwe nhazi nke ihe nkiri ahụ. Na mkpuchi sputtering ugboro redio, nkwadebe nke membrane conductor gbakwunyere DC bias: nkwadebe nke dielectric membrane gbakwunyere tuning bias.

(3) Okpomọkụ nke ihe mkpuchi ala. Okpomọkụ nke ihe mkpuchi ala na-emetụta nrụgide dị n'ime ihe nkiri ahụ, nke bụ n'ihi na okpomọkụ na-emetụta ọrụ nke atọm ndị e tinyere na ihe mkpuchi ala ahụ ozugbo, si otú a na-ekpebi ihe mejupụtara ihe nkiri ahụ, nhazi ya, nha ọka nkezi, nhazi kristal na ezughị ezu.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua