(1) Khí bắn phá. Khí bắn phá cần có các đặc điểm như hiệu suất bắn phá cao, trơ với vật liệu mục tiêu, rẻ, dễ có được độ tinh khiết cao và các đặc điểm khác. Nói chung, argon là khí bắn phá lý tưởng hơn.
(2) Điện áp phun và điện áp nền. Hai thông số này có tác động quan trọng đến đặc tính của màng, điện áp phun không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ lắng đọng mà còn ảnh hưởng nghiêm trọng đến cấu trúc của màng được lắng đọng. Điện thế nền ảnh hưởng trực tiếp đến dòng electron hoặc ion do con người bơm vào. Nếu nền được nối đất, nó sẽ bị bắn phá bởi các electron tương đương; nếu nền được treo, nó sẽ nằm trong vùng phóng điện phát sáng để thu được điện thế âm nhẹ so với mặt đất của điện thế treo V1, và điện thế của plasma xung quanh nền V2 cao hơn điện thế nền, điều này sẽ tạo ra một mức độ bắn phá nhất định của electron và ion dương, dẫn đến những thay đổi về độ dày, thành phần và các đặc tính khác của màng: nếu nền được cố ý áp dụng điện áp phân cực, sao cho phù hợp với cực tính của sự tiếp nhận điện của electron hoặc ion, không chỉ có thể làm sạch nền và tăng cường độ bám dính của màng mà còn thay đổi cấu trúc của màng. Trong quá trình phủ phun tần số vô tuyến, việc chuẩn bị màng dẫn điện cộng với điện áp phân cực DC: việc chuẩn bị màng điện môi cộng với điện áp phân cực điều chỉnh.
(3) Nhiệt độ chất nền. Nhiệt độ chất nền có tác động lớn hơn đến ứng suất bên trong của màng, do nhiệt độ ảnh hưởng trực tiếp đến hoạt động của các nguyên tử được lắng đọng trên chất nền, do đó quyết định thành phần của màng, cấu trúc, kích thước hạt trung bình, hướng tinh thể và độ không hoàn chỉnh.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 05/01/2024