(1) Mpweya wothira madzi. Mpweya wothira madzi uyenera kukhala ndi makhalidwe monga kutulutsa madzi ambiri, kusakhala ndi mpweya wokwanira ku chinthu chomwe mukufuna, wotsika mtengo, wosavuta kupeza woyera kwambiri ndi makhalidwe ena. Kawirikawiri, argon ndiye mpweya wabwino kwambiri wothira madzi.
(2) Voliyumu yotulutsa mpweya ndi voliyumu ya substrate. Magawo awiriwa ali ndi gawo lofunika pa makhalidwe a filimuyi, voliyumu yotulutsa mpweya sikuti imakhudza kuchuluka kwa mpweya wotuluka, komanso imakhudza kwambiri kapangidwe ka filimuyo. Mphamvu ya substrate imakhudza mwachindunji kayendedwe ka ma elekitironi kapena ma ion a jakisoni wa anthu. Ngati substrate yakhazikika, imawombedwa ndi ma elekitironi ofanana; ngati substrate yayimitsidwa, ili m'dera lotulutsa kuwala kuti ipeze mphamvu yoyipa pang'ono poyerekeza ndi nthaka ya mphamvu yoyimitsidwa V1, ndipo mphamvu ya plasma yozungulira substrate V2 kukhala yokwera kuposa mphamvu ya substrate, zomwe zimapangitsa kuti ma elekitironi ndi ma ion abwino aphulitsidwe, zomwe zimapangitsa kuti makulidwe a filimuyo asinthe, kapangidwe kake, ndi makhalidwe ena: ngati substrate imagwiritsa ntchito voliyumu ya bias mwadala, kotero kuti ikugwirizana ndi polarity ya kuvomereza kwa magetsi kwa ma elekitironi kapena ma ion, sikuti imangoyeretsa substrate ndikuwonjezera kumatirira kwa filimuyo, komanso kusintha kapangidwe ka filimuyo. Mu utoto wotulutsa mpweya wa ma radio frequency, kukonzekera kwa nembanemba ya conductor kuphatikiza DC bias: kukonzekera kwa nembanemba ya dielectric kuphatikiza bias yosinthira.
(3) Kutentha kwa substrate. Kutentha kwa substrate kumakhudza kwambiri kupsinjika kwa mkati mwa filimu, komwe kumachitika chifukwa cha kutentha komwe kumakhudza mwachindunji ntchito ya maatomu omwe ali pa substrate, motero kumatsimikiza kapangidwe ka filimuyo, kapangidwe kake, kukula kwapakati kwa tirigu, kuyang'ana kwa kristalo ndi kusakwanira.
– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua
Nthawi yotumizira: Januwale-05-2024