(1) Purkaydigan gaz. Purkaydigan gaz yuqori purkaydigan rentabellik, maqsadli materialga nisbatan inertlik, arzonlik, oson olinadigan yuqori tozalik va boshqa xususiyatlarga ega bo'lishi kerak. Umuman olganda, argon eng ideal purkaydigan gazdir.
(2) Purkash kuchlanishi va substrat kuchlanishi. Bu ikki parametr plyonkaning xususiyatlariga muhim ta'sir ko'rsatadi, purkash kuchlanishi nafaqat cho'kish tezligiga ta'sir qiladi, balki cho'ktirilgan plyonkaning tuzilishiga ham jiddiy ta'sir qiladi. Substrat potensiali inson in'ektsiyasining elektron yoki ion oqimiga bevosita ta'sir qiladi. Agar substrat yerga ulangan bo'lsa, u ekvivalent elektronlar bilan bombardimon qilinadi; agar substrat osilgan bo'lsa, u yorug'lik chiqarish zonasida bo'ladi va V1 suspenziya potensialining yerga nisbatan biroz salbiy potensiali olinadi va V2 substrat atrofidagi plazma potensiali substrat potensialidan yuqori bo'ladi, bu esa ma'lum darajada elektronlar va musbat ionlarning bombardimon qilinishiga olib keladi, natijada plyonka qalinligi, tarkibi va boshqa xususiyatlari o'zgaradi: agar substratga maqsadli ravishda tarafkashlik kuchlanishi qo'llanilsa, u elektronlar yoki ionlarning elektr qabul qilish qutbligiga mos keladi, bu nafaqat substratni tozalashi va plyonkaning yopishishini kuchaytirishi, balki plyonkaning tuzilishini ham o'zgartirishi mumkin. Radiochastotali purkash qoplamasida o'tkazgich membranasini tayyorlash va DC tarafkashligi: dielektrik membranani tayyorlash va sozlash tarafkashligi.
(3) Substrat harorati. Substrat harorati plyonkaning ichki kuchlanishiga ko'proq ta'sir qiladi, bu harorat substratdagi cho'ktirilgan atomlarning faolligiga bevosita ta'sir qilishi va shu bilan plyonkaning tarkibini, tuzilishini, o'rtacha dona hajmini, kristall yo'nalishini va to'liq emasligini aniqlashi bilan bog'liq.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 5-yanvar