(1) Gaz rozpylający. Gaz rozpylający powinien charakteryzować się wysoką wydajnością rozpylania, być obojętny wobec materiału docelowego, tani, łatwy do uzyskania, o wysokiej czystości i innymi cechami. Ogólnie rzecz biorąc, argon jest bardziej idealnym gazem rozpylającym.
(2) Napięcie rozpylania i napięcie podłoża. Te dwa parametry mają istotny wpływ na charakterystykę warstwy. Napięcie rozpylania wpływa nie tylko na szybkość osadzania, ale także poważnie wpływa na strukturę osadzonej warstwy. Potencjał podłoża bezpośrednio wpływa na przepływ elektronów lub jonów podczas iniekcji. Jeśli podłoże jest uziemione, jest bombardowane równoważnymi elektronami; jeśli podłoże jest zawieszone, znajduje się w obszarze wyładowania jarzeniowego, aby uzyskać lekko ujemny potencjał w stosunku do uziemienia potencjału zawieszenia V1, a potencjał plazmy wokół podłoża V2 jest wyższy niż potencjał podłoża, co spowoduje pewien stopień bombardowania elektronami i jonami dodatnimi, powodując zmiany grubości warstwy, jej składu i innych właściwości. Jeśli podłoże celowo przyłoży napięcie polaryzacji, tak aby było zgodne z biegunowością elektrycznego przyjmowania elektronów lub jonów, może nie tylko oczyścić podłoże i zwiększyć przyczepność warstwy, ale także zmienić jej strukturę. W przypadku powłoki natryskiwanej za pomocą częstotliwości radiowej, przygotowanie membrany przewodzącej i polaryzacja stałoprądowa: przygotowanie membrany dielektrycznej i polaryzacja dostrajania.
(3) Temperatura podłoża. Temperatura podłoża ma większy wpływ na naprężenia wewnętrzne warstwy, ponieważ temperatura bezpośrednio wpływa na aktywność atomów osadzonych na podłożu, determinując w ten sposób skład warstwy, strukturę, średni rozmiar ziarna, orientację kryształu i niekompletność.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 05-01-2024