(1) Gaz miparitaka. Ny gazy miparitaka dia tokony hanana toetra toy ny vokatra miparitaka avo lenta, tsy mihetsika amin'ny fitaovana kendrena, mora vidy, mora azo ny fahadiovana avo lenta ary toetra hafa. Amin'ny ankapobeny, ny argon no gazy miparitaka tsara indrindra.
(2) Voltazy miparitaka sy voltazy amin'ny substrate. Ireo masontsivana roa ireo dia misy fiantraikany lehibe amin'ny toetran'ny sarimihetsika, ny voltazy miparitaka dia tsy vitan'ny hoe misy fiantraikany amin'ny tahan'ny fametrahana, fa misy fiantraikany lehibe amin'ny firafitry ny sarimihetsika napetraka ihany koa. Ny mety ho vitan'ny substrate dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fikorianan'ny elektrôna na iôna amin'ny tsindrona ataon'olombelona. Raha miorim-paka ny substrate, dia voadaroka elektrôna mitovy amin'izany; raha mihantona ny substrate, dia mahazo mety ho ratsy kely raha oharina amin'ny tany amin'ny mety ho vitan'ny fampiatoana V1 ao amin'ny faritra misy ny hazavana, ary ny mety ho vitan'ny plasma manodidina ny substrate V2 dia ho ambony noho ny mety ho vitan'ny substrate, izay hiteraka fanafihana elektrôna sy iôna tsara, ka miteraka fiovana eo amin'ny hatevin'ny sarimihetsika, ny firafiny, ary ny toetra hafa: raha ampiharina amin'ny fomba niniana natao ny voltazy mitongilana, mba hifanaraka amin'ny polarity amin'ny fandraisana elektrôna na iôna elektrika, dia tsy vitan'ny hoe afaka manadio ny substrate sy manatsara ny fifikirana amin'ny sarimihetsika, fa manova ny firafitry ny sarimihetsika ihany koa. Ao amin'ny coating sputtering amin'ny radio frequency, ny fanomanana ny membrane conducteur miampy ny bias DC: ny fanomanana ny membrane dielectric miampy ny bias tuning.
(3) Hafanana ao anaty substrate. Ny hafanan'ny substrate dia misy fiantraikany lehibe kokoa amin'ny fihenjanana anatiny ao amin'ny sarimihetsika, izay noho ny mari-pana misy fiantraikany mivantana amin'ny asan'ny atôma napetraka eo amin'ny substrate, ka mamaritra ny firafitry ny sarimihetsika, ny rafitra, ny haben'ny voam-bary antonony, ny fironan'ny kristaly ary ny tsy fahatanterahana.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 05 Janoary 2024