(1) Gesi inayomwagika. Gesi inayomwagika inapaswa kuwa na sifa za kutoa maji mengi, isiyo na unyevu kwenye nyenzo lengwa, ya bei nafuu, rahisi kupata usafi wa hali ya juu na sifa zingine. Kwa ujumla, argon ndiyo gesi bora zaidi ya kumwagika.
(2) Volti ya kunyunyizia na voltage ya substrate. Vigezo hivi viwili vina athari muhimu kwenye sifa za filamu, voltage ya kunyunyizia haiathiri tu kiwango cha uwekaji, lakini pia huathiri vibaya muundo wa filamu iliyohifadhiwa. Uwezo wa substrate huathiri moja kwa moja mtiririko wa elektroni au ioni wa sindano ya binadamu. Ikiwa substrate imetulia, hupigwa na elektroni sawa; ikiwa substrate imesimamishwa, iko katika eneo la kutokwa kwa mwanga ili kupata uwezo hasi kidogo ikilinganishwa na ardhi ya uwezo wa kusimamishwa V1, na uwezo wa plasma inayozunguka substrate V2 kuwa juu kuliko uwezo wa substrate, ambayo itasababisha kiwango fulani cha kupigwa kwa elektroni na ioni chanya, na kusababisha mabadiliko katika unene wa filamu, muundo, na sifa zingine: ikiwa substrate ilitumia voltage ya upendeleo kimakusudi, ili iwe kulingana na polarity ya kukubalika kwa umeme kwa elektroni au ioni, sio tu inaweza kusafisha substrate na kuongeza mshikamano wa filamu, lakini pia kubadilisha muundo wa filamu. Katika mipako ya kunyunyizia masafa ya redio, utayarishaji wa utando wa kondakta pamoja na upendeleo wa DC: utayarishaji wa utando wa dielectric pamoja na upendeleo wa kurekebisha.
(3) Halijoto ya sehemu ya chini. Halijoto ya sehemu ya chini ina athari kubwa zaidi kwenye msongo wa ndani wa filamu, ambayo husababishwa na halijoto huathiri moja kwa moja shughuli za atomi zilizowekwa kwenye sehemu ya chini, hivyo kuamua muundo wa filamu, muundo, ukubwa wa wastani wa chembe, mwelekeo wa fuwele na kutokamilika.
– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa chapisho: Januari-05-2024