(1) Шүршигч хий. Шүршигч хий нь өндөр шүршигч гарцтай, зорилтот материалд идэвхгүй, хямд, авахад хялбар өндөр цэвэршилттэй гэх мэт шинж чанартай байх ёстой. Ерөнхийдөө аргон нь хамгийн тохиромжтой шүршигч хий юм.
(2) Шүрших хүчдэл ба суурь хүчдэл. Эдгээр хоёр параметр нь хальсны шинж чанарт чухал нөлөө үзүүлдэг бөгөөд шүрших хүчдэл нь зөвхөн тунадасны хурдад нөлөөлөхөөс гадна тунадасжсан хальсны бүтцэд ноцтой нөлөөлдөг. Субстратын потенциал нь хүний тарилгын электрон эсвэл ионы урсгалд шууд нөлөөлдөг. Хэрэв суурь нь газардуулгатай бол эквивалент электроноор бөмбөгдүүлдэг; хэрэв суурь нь түдгэлзсэн бол гэрэлтэх хэсэгт байрлах бөгөөд түдгэлзүүлэлтийн потенциал V1-ийн газартай харьцуулахад бага зэрэг сөрөг потенциалыг олж авдаг бөгөөд V2 суурь орчмын плазмын потенциал нь суурь потенциалаас өндөр байх бөгөөд энэ нь электрон болон эерэг ионуудын тодорхой хэмжээний бөмбөгдөлтийг үүсгэж, хальсны зузаан, найрлага болон бусад шинж чанарт өөрчлөлт оруулна: хэрэв суурь нь электрон эсвэл ионуудын цахилгаан хүлээн авах туйлшралтай нийцүүлэн зориудаар хазайлтын хүчдэлийг хэрэглэвэл зөвхөн суурь хэсгийг цэвэрлэж, хальсны наалдацыг сайжруулаад зогсохгүй хальсны бүтцийг өөрчилж чадна. Радио давтамжийн цацалтын бүрхүүлд дамжуулагч мембраныг бэлтгэх ба тогтмол гүйдлийн хэвийлтийг ашиглана: диэлектрик мембраныг бэлтгэх ба тохируулгын хэвийлтийг ашиглана.
(3) Суурийн температур. Суурийн температур нь хальсны дотоод стресст илүү их нөлөөлдөг бөгөөд энэ нь температур нь субстрат дээр хуримтлагдсан атомуудын идэвхжилд шууд нөлөөлдөг тул хальсны найрлага, бүтэц, дундаж ширхэгийн хэмжээ, талстын чиглэл болон бүрэн бус байдлыг тодорхойлдогтой холбоотой юм.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 1-р сарын 5