(1) Gaz dökmek. Tüýkürýän gaz, ýokary tüýdügiň hasyllylygy, maksat materialyna inert, arzan, ýokary arassalygy almak aňsat we beýleki aýratynlyklara eýe bolmalydyr. Umuman aýdanyňda, argon iň ideal tüýdük gazydyr.
(2) Tüýdük naprýa .eniýesi we substrat naprýa .eniýesi. Bu iki parametr filmiň aýratynlyklaryna möhüm täsir edýär, tüýdük naprýa .eniýesi diňe depozit tizligine täsir etmän, goýlan filmiň gurluşyna hem täsir edýär. Substrat potensialy adam sanjymynyň elektron ýa-da ion akymyna gönüden-göni täsir edýär. Substrat toprakly bolsa, ekwiwalent elektronlar bilen bombalanýar; eger substrat togtadylan bolsa, asma potensialy V1 bilen deňeşdirilende birneme negatiw potensialy almak üçin, we V2 substratyň töweregindäki plazmanyň substrat potensialyndan has ýokary bolmagy, bu filmiň galyňlygynyň, düzüminiň we beýleki häsiýetleriniň üýtgemegine sebäp boljak elektriki polýusyň maksadalaýyk ulanylmagyna sebäp bolýar ionlary, diňe bir substraty arassalap, filmiň ýelmeşmegini güýçlendirip bilmän, filmiň gurluşyny hem üýtgedip biler. Radio ýygylygy tüýdük örtüginde, geçiriji membranany we DC ikitaraplaýyn görnüşi: dielektrik membranany taýýarlamak we sazlamak görnüşi.
(3) Substrat temperaturasy. Substratyň temperaturasy, filmiň içki stresine has uly täsir edýär, bu temperatura substratda goýlan atomlaryň işjeňligine gönüden-göni täsir edýär, şeýlelik bilen filmiň düzümini, gurluşyny, ortaça däne ululygyny, kristal ugruny we doly dälligini kesgitleýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: -anwar-05-2024