1. มีประโยชน์สำหรับการพ่นและชุบฟิล์มฉนวน การเปลี่ยนแปลงขั้วอิเล็กโทรดอย่างรวดเร็วสามารถใช้เพื่อพ่นเป้าหมายฉนวนโดยตรงเพื่อให้ได้ฟิล์มฉนวน หากใช้แหล่งจ่ายไฟ DC เพื่อพ่นและเคลือบฟิล์มฉนวน ฟิล์มฉนวนจะปิดกั้นไอออนบวกไม่ให้เข้าสู่แคโทด ทำให้เกิดชั้นสะสมไอออนบวก ซึ่งมีแนวโน้มที่จะพังทลายและติดไฟ หลังจากเคลือบฟิล์มฉนวนบนขั้วบวกแล้ว อิเล็กตรอนจะถูกปิดกั้นไม่ให้เข้าสู่ขั้วบวก ส่งผลให้เกิดปรากฏการณ์ที่ขั้วบวกหายไป เมื่อใช้แหล่งจ่ายไฟ RF เพื่อเคลือบฟิล์มฉนวน เนื่องจากขั้วไฟฟ้าสลับกัน ประจุบวกที่สะสมบนแคโทดในครึ่งแรกของวงจรจะถูกทำให้เป็นกลางโดยอิเล็กตรอนในครึ่งหลังของวงจร และอิเล็กตรอนที่สะสมบนขั้วบวกจะถูกทำให้เป็นกลางโดยไอออนบวก กระบวนการตรงกันข้ามในครึ่งหลังของวงจรสามารถกำจัดการสะสมของประจุบนอิเล็กโทรด และกระบวนการคายประจุสามารถดำเนินต่อไปได้ตามปกติ
2.อิเล็กโทรดความถี่สูงสร้างอคติของตัวเอง ในอุปกรณ์ RF ที่มีโครงสร้างอิเล็กโทรดแบน อิเล็กโทรดความถี่สูงในวงจรที่ใช้การจับคู่แบบคาปาซิทีฟจะสร้างแรงดันไฟฟ้าอคติของตัวเอง ความแตกต่างอย่างมากระหว่างความเร็วการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนและความเร็วการเคลื่อนที่ของไอออนในการคายประจุทำให้อิเล็กตรอนสามารถเคลื่อนที่ด้วยความเร็วที่มากขึ้นในเวลาที่กำหนด ในขณะที่ความเร็วไอออนที่ช้าลงทำให้เกิดการสะสม อิเล็กโทรดความถี่สูงมีศักย์ลบสำหรับส่วนใหญ่ในแต่ละรอบ ส่งผลให้แรงดันไฟฟ้าลบบนพื้นที่ ซึ่งเป็นปรากฏการณ์ของอคติของตัวเองของอิเล็กโทรดความถี่สูง
ความเอนเอียงของตัวเองที่เกิดจากอิเล็กโทรดปล่อยประจุ RF จะเร่งการทิ้งประจุไอออนของอิเล็กโทรดแคโทดให้ปล่อยอิเล็กตรอนรองอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษากระบวนการปล่อยประจุ และความเอนเอียงของตัวเองมีบทบาทคล้ายกับการลดลงของแคโทดในการปล่อยประจุไฟฟ้ากระแสตรง แม้ว่าจะใช้แหล่งจ่ายไฟ RF แต่การปล่อยประจุก็เสถียรได้เนื่องจากแรงดันไฟฟ้าความเอนเอียงของตัวเองที่เกิดจากอิเล็กโทรดความถี่สูงที่สูงถึง 500-1000V
3. การคายประจุความถี่วิทยุมีบทบาทสำคัญในการคายประจุเรืองแสงความดันบรรยากาศและการคายประจุเรืองแสงกำแพงไดอิเล็กตริกที่นำมาใช้ในภายหลัง
เวลาโพสต์: 21 มิ.ย. 2566