1. I dobishëm për spërkatjen dhe veshjen e filmit izolues. Ndryshimi i shpejtë i polaritetit të elektrodës mund të përdoret për të spërkatur drejtpërdrejt objektivat izolues për të përftuar filma izolues. Nëse përdoret një burim energjie DC për të spërkatur dhe depozituar filmin izolues, filmi izolues do të bllokojë hyrjen e joneve pozitive në katodë, duke formuar një shtresë akumulimi të joneve pozitive, e cila është e prirur ndaj prishjes dhe ndezjes. Pas depozitimit të një filmi izolues në anodë, elektronet bllokohen nga hyrja në anodë, duke rezultuar në fenomenin e zhdukjes së anodës. Kur përdoret një burim energjie RF për të veshur filmin izolues, për shkak të polaritetit alternativ të elektrodave, ngarkesat pozitive të akumuluara në katodë në gjysmën e parë të ciklit do të neutralizohen nga elektronet në gjysmën e dytë të ciklit, dhe elektronet e akumuluara në anodë do të neutralizohen nga jonet pozitive. Procesi i kundërt në gjysmën e dytë të ciklit mund të eliminojë akumulimin e ngarkesave në elektrodë, dhe procesi i shkarkimit mund të vazhdojë normalisht.
2. Elektrodat me frekuencë të lartë gjenerojnë vetë-polazim. Në pajisjen RF me një strukturë të sheshtë elektrode, elektrodat me frekuencë të lartë në qark që përdorin përputhje kapacitive gjenerojnë tension vetë-polazim. Diferenca e madhe midis shpejtësisë së migrimit të elektroneve dhe shpejtësisë së migrimit të joneve në shkarkim u mundëson elektroneve të arrijnë një shpejtësi më të madhe lëvizjeje në një kohë të caktuar, ndërsa shpejtësia më e ngadaltë e joneve shkakton akumulim. Elektroda me frekuencë të lartë është në një potencial negativ për pjesën më të madhe të çdo cikli, duke rezultuar në një tension negativ në terren, i cili është fenomeni i vetë-polazim të elektrodës me frekuencë të lartë.
Vetë-polarizimi i gjeneruar nga elektroda e shkarkimit RF përshpejton bombardimin jonik të elektrodës së katodës për të emetuar vazhdimisht elektrone sekondare për të ruajtur procesin e shkarkimit, dhe vetë-polarizimi luan një rol të ngjashëm me rënien e katodës në shkarkimin e shkëlqimit DC. Megjithëse përdoret një furnizim me energji RF, shkarkimi mund të jetë i qëndrueshëm për shkak të tensionit të vetë-polarizimit të gjeneruar nga elektroda me frekuencë të lartë që arrin 500-1000V.
3. Shkarkimi i frekuencës radio luan një rol të rëndësishëm në shkarkimin e shkëlqimit nën presionin atmosferik dhe shkarkimin e shkëlqimit me barrierë dielektrike të prezantuar më vonë.
Koha e postimit: 21 qershor 2023