Teknologjia e depozitimit kimik të avujve me plazmë të përforcuar me hark teli të nxehtë përdor pistoletën e harkut me tela të nxehtë për të emetuar plazmë harku, shkurtuar si teknologjia PECVD e harkut me tela të nxehtë. Kjo teknologji është e ngjashme me teknologjinë e veshjes me jon me pistoletë harku me tela të nxehtë, por ndryshimi është se filmi i ngurtë i përftuar nga veshja me jon me pistoletë harku me tela të nxehtë përdor rrjedhën e elektroneve të dritës së harkut të emetuar nga pistoletën e harkut me tela të nxehtë për të ngrohur dhe avulluar metalin në enën e shkrirjes, ndërsa drita e harkut me tela të nxehtë PECVD ushqehet me gazra reagimi, të tilla si CH4 dhe H2, të cilat përdoren për depozitimin e filmave të diamantit. Duke u mbështetur në rrymën e shkarkimit të harkut me dendësi të lartë të emetuar nga pistoletën e harkut me tela të nxehtë, jonet e gazit reaktiv ngacmohen për të përftuar grimca të ndryshme aktive, duke përfshirë jonet e gazit, jonet atomike, grupet aktive e kështu me radhë.
Në pajisjen PECVD me hark teli të nxehtë, dy spirale elektromagnetike janë ende të instaluara jashtë dhomës së veshjes, duke bërë që rrjedha e elektroneve me dendësi të lartë të rrotullohet gjatë lëvizjes drejt anodës, duke rritur probabilitetin e përplasjes dhe jonizimit midis rrjedhës së elektroneve dhe gazit të reagimit. Spiralja elektromagnetike gjithashtu mund të konvergojë në një kolonë harku për të rritur dendësinë e plazmës së të gjithë dhomës së depozitimit. Në plazmën e harkut, dendësia e këtyre grimcave aktive është e lartë, duke e bërë më të lehtë depozitimin e filmave diamanti dhe shtresave të tjera të filmit në copën e punës.
——Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua Technology, njëprodhues i makinave të veshjes optike.
Koha e postimit: 05 Maj 2023