(1) Gaz spërkatës. Gazi spërkatës duhet të ketë karakteristikat e rendimentit të lartë të spërkatjes, inertitetit ndaj materialit të synuar, kostos së ulët, pastërtisë së lartë dhe karakteristikave të tjera. Në përgjithësi, argoni është gazi më ideal i spërkatjes.
(2) Tensioni i spërkatjes dhe tensioni i substratit. Këto dy parametra kanë një ndikim të rëndësishëm në karakteristikat e filmit, tensioni i spërkatjes jo vetëm që ndikon në shkallën e depozitimit, por gjithashtu ndikon seriozisht në strukturën e filmit të depozituar. Potenciali i substratit ndikon drejtpërdrejt në rrjedhën e elektroneve ose joneve të injektimit njerëzor. Nëse substrati është i bazuar, ai bombardohet nga elektrone ekuivalente; nëse substrati është i pezulluar, ai është në zonën e shkarkimit të shkëlqimit për të marrë një potencial paksa negativ në lidhje me tokën e potencialit të pezullimit V1, dhe potenciali i plazmës rreth substratit V2 është më i lartë se potenciali i substratit, gjë që do të shkaktojë një shkallë të caktuar të bombardimit të elektroneve dhe joneve pozitive, duke rezultuar në ndryshime në trashësinë e filmit, përbërjen dhe karakteristikat e tjera: nëse substrati aplikohet qëllimisht tension i paragjykimit, në mënyrë që të jetë në përputhje me polaritetin e pranimit elektrik të elektroneve ose joneve, jo vetëm që mund të pastrojë substratin dhe të rrisë ngjitjen e filmit, por edhe të ndryshojë strukturën e filmit. Në veshjen e spërkatjes me frekuencë radio, përgatitja e membranës përçuese plus paragjykimi DC: përgatitja e membranës dielektrike plus paragjykimi i akordimit.
(3) Temperatura e substratit. Temperatura e substratit ka një ndikim më të madh në stresin e brendshëm të filmit, i cili për shkak se temperatura ndikon drejtpërdrejt në aktivitetin e atomeve të depozituara në substrat, duke përcaktuar kështu përbërjen e filmit, strukturën, madhësinë mesatare të kokrrizave, orientimin e kristalit dhe paplotësinë.
– Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua
Koha e postimit: 05 Janar 2024