ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာနည်းပညာသည် ပတ်ဝန်းကျင်နှင့် သဟဇာတဖြစ်မှု၊ မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဖလင်တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပေါ်ယံလွှာသိပ်သည်းဆ အပါအဝင် အဓိကအားသာချက်များစွာကို ပေးစွမ်းသည်။ ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများကို ယေဘုယျအားဖြင့် အောက်ပါအမျိုးအစားများအဖြစ် ခွဲခြားနိုင်သည်။
၁။ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အငွေ့စုပုံခြင်း (PVD) ပစ္စည်းကိရိယာ
၁.၁ ဖုန်စုပ်အငွေ့ပျံခြင်းအပေါ်ယံလွှာပစ္စည်း
ဖုန်စုပ်အငွေ့ပျံခြင်းအပေါ်ယံလွှာတွင် အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါတို့ပါဝင်သည်- အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိ အငွေ့ပျံခြင်း၊ အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည်အငွေ့ပျံခြင်း၊ E-beam အငွေ့ပျံခြင်းဟုလည်း လူသိများသည်
၁.၂ စပတာရင်း အပေါ်ယံလွှာ ပစ္စည်းကိရိယာများ
စပတာရင်းအပေါ်ယံလွှာ စက်ပစ္စည်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် DC စပတာရင်း၊ RF စပတာရင်း၊ အလယ်အလတ်ကြိမ်နှုန်း စပတာရင်း ပါဝင်သည်
၁.၃ အိုင်းယွန်းပလတ်စတစ်ပစ္စည်းကိရိယာများ
အိုင်းယွန်း ಲೇಪခြင်း စက်ပစ္စည်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် cathodic arc ion ಲೇಪခြင်း ပါဝင်သည်
၂။ ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (CVD) ပစ္စည်းကိရိယာများ
ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်းဆိုင်ရာ စက်ပစ္စည်းများကို အောက်ပါအမျိုးအစားများအဖြစ် ခွဲခြားနိုင်သည်။
၂.၁ လေထုဖိအား ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (APCVD)
၂.၂ ဖိအားနည်းသော ဓာတုအငွေ့စုပုံခြင်း (LPCVD)
၂.၃ ပလာစမာ မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုဗေဒ အငွေ့စုပုံခြင်း (PECVD)
၂.၄ သတ္တု အော်ဂဲနစ် ဓာတု အငွေ့စုပုံခြင်း (MOCVD)
၂.၅ အက်တမ်အလွှာ စုပုံခြင်း (ALD)
အသုံးချစက်မှုလုပ်ငန်းများ
ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာသုံး ပစ္စည်းကိရိယာများကို အောက်ပါစက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးပြုကြပြီး ၎င်းတို့တွင်- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းများ၊ စွမ်းအင်အသစ်၊ ဒရုန်းများ၊ စမတ်ဝတ်ဆင်နိုင်သော ကိရိယာများ၊ အလင်းမှန်ဘီလူးများ၊ မော်တော်ကား၊ အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ၊ ပရိဘောဂနှင့် အိမ်သုံးပစ္စည်းများ၊ ရေချိုးခန်းသုံးပစ္စည်းများ၊ ထုပ်ပိုးပစ္စည်းများနှင့် ပလတ်စတစ်အနားကွပ် အစိတ်အပိုင်းများ ပါဝင်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူ ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၆ ခုနှစ်၊ ဧပြီလ ၂၉ ရက်