Teknologi salutan vakum menawarkan beberapa kelebihan utama, termasuk mesra alam, kecekapan tinggi, keseragaman filem yang sangat baik dan ketumpatan salutan yang unggul. Peralatan salutan vakum secara amnya boleh dikelaskan kepada jenis berikut:
1. Peralatan Pemendapan Wap Fizikal (PVD)
1.1 Peralatan Salutan Penyejatan Vakum
Salutan penyejatan vakum terutamanya merangkumi: penyejatan pemanasan rintangan; penyejatan pancaran elektron, juga dikenali sebagai penyejatan pancaran-E
1.2 Peralatan Salutan Percikan
Peralatan salutan sputtering terutamanya merangkumi: sputtering DC; sputtering RF; sputtering frekuensi sederhana
1.3 Peralatan Penyaduran Ion
Peralatan penyaduran ion terutamanya merangkumi: penyaduran ion arka katodik
2. Peralatan Pemendapan Wap Kimia (CVD)
Peralatan pemendapan wap kimia boleh dikelaskan kepada jenis berikut:
2.1 Pemendapan Wap Kimia Tekanan Atmosfera (APCVD)
2.2 Pemendapan Wap Kimia Tekanan Rendah (LPCVD)
2.3 Pemendapan Wap Kimia Dipertingkat Plasma (PECVD)
2.4 Pemendapan Wap Kimia Organik Logam (MOCVD)
2.5 Pemendapan Lapisan Atom (ALD)
Industri Aplikasi
Peralatan salutan vakum digunakan secara meluas dalam pelbagai industri, termasuk: Semikonduktor, tenaga baharu, dron, peranti boleh pakai pintar, kanta optik, automotif, elektronik, perabot dan perkakas rumah, kelengkapan bilik mandi, bahan pembungkusan dan komponen kemasan plastik.
-Artikel ini diterbitkan oleh pengeluar peralatan salutan vakum Vakum Zhenhua
Masa siaran: 29-Apr-2026