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Quali sono le principali tipologie di apparecchiature per la deposizione sottovuoto?

Fonte dell'articolo: Zhenhua Vacuum
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Pubblicato: 26-04-29

La tecnologia di rivestimento sottovuoto offre diversi vantaggi chiave, tra cui il rispetto dell'ambiente, l'elevata efficienza, l'eccellente uniformità del film e la densità di rivestimento superiore. Le apparecchiature per il rivestimento sottovuoto possono essere generalmente classificate nelle seguenti tipologie:

1. Apparecchiature per la deposizione fisica da fase vapore (PVD)

1.1 Apparecchiature per la deposizione di rivestimenti mediante evaporazione sottovuoto

Il rivestimento per evaporazione sottovuoto comprende principalmente: evaporazione a riscaldamento resistivo; evaporazione a fascio di elettroni, nota anche come evaporazione a fascio di elettroni

1.2 Apparecchiature per la deposizione di rivestimenti mediante sputtering

Le apparecchiature per la deposizione a sputtering includono principalmente: sputtering DC; sputtering RF; sputtering a media frequenza

1.3 Apparecchiature per la placcatura ionica

Le apparecchiature per la placcatura ionica includono principalmente: placcatura ionica ad arco catodico

 

2. Apparecchiature per la deposizione chimica da fase vapore (CVD)

Le apparecchiature per la deposizione chimica da fase vapore possono essere classificate nelle seguenti tipologie:

2.1 Deposizione chimica da fase vapore a pressione atmosferica (APCVD)
2.2 Deposizione chimica da fase vapore a bassa pressione (LPCVD)
2.3 Deposizione chimica in fase vapore potenziata al plasma (PECVD)
2.4 Deposizione chimica da fase vapore metallorganica (MOCVD)
2.5 Deposizione di strati atomici (ALD)
Settori applicativi

Le apparecchiature per la deposizione sottovuoto sono ampiamente utilizzate in diversi settori, tra cui: semiconduttori, energie rinnovabili, droni, dispositivi indossabili intelligenti, lenti ottiche, settore automobilistico, elettronica, mobili ed elettrodomestici, accessori per il bagno, materiali di imballaggio e componenti di finitura in plastica.

-Questo articolo è stato pubblicato da produttore di apparecchiature per rivestimento sottovuoto Zhenhua Vacuum


Data di pubblicazione: 29 aprile 2026