Ποιοι είναι οι κύριοι τύποι εξοπλισμού επίστρωσης κενού;

Η τεχνολογία επίστρωσης κενού προσφέρει πολλά βασικά πλεονεκτήματα, όπως η φιλικότητα προς το περιβάλλον, η υψηλή απόδοση, η εξαιρετική ομοιομορφία της μεμβράνης και η ανώτερη πυκνότητα επίστρωσης. Ο εξοπλισμός επίστρωσης κενού μπορεί γενικά να ταξινομηθεί στους ακόλουθους τύπους:

1. Εξοπλισμός φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD)

1.1 Εξοπλισμός επίστρωσης με εξάτμιση κενού

Η επίστρωση με εξάτμιση κενού περιλαμβάνει κυρίως: εξάτμιση με θέρμανση αντίστασης, εξάτμιση με δέσμη ηλεκτρονίων, επίσης γνωστή ως εξάτμιση με δέσμη ηλεκτρονίων.

1.2 Εξοπλισμός επίστρωσης με ψεκασμό

Ο εξοπλισμός επικάλυψης με ψεκασμό περιλαμβάνει κυρίως: Ψεκασμός DC, Ψεκασμός RF, Ψεκασμός μεσαίας συχνότητας

1.3 Εξοπλισμός επιμετάλλωσης ιόντων

Ο εξοπλισμός ιοντικής επιμετάλλωσης περιλαμβάνει κυρίως: καθοδική ιοντική επιμετάλλωση τόξου

2. Εξοπλισμός Χημικής Εναπόθεσης Ατμών (CVD)

Ο εξοπλισμός χημικής εναπόθεσης ατμών μπορεί να ταξινομηθεί στους ακόλουθους τύπους:

2.1 Χημική εναπόθεση ατμών σε ατμοσφαιρική πίεση (APCVD)
2.2 Χημική εναπόθεση ατμών χαμηλής πίεσης (LPCVD)
2.3 Εναπόθεση Χημικών Ατμών με Ενισχυμένο Πλάσμα (PECVD)
2.4 Εναπόθεση Μεταλλικών Οργανικών Χημικών Ατμών (MOCVD)
2.5 Απόθεση Ατομικής Στρώσης (ALD)
Βιομηχανίες Εφαρμογών

Ο εξοπλισμός επίστρωσης κενού χρησιμοποιείται ευρέως σε διάφορους κλάδους, όπως: Ημιαγωγοί, νέες πηγές ενέργειας, drones, έξυπνες φορετές συσκευές, οπτικοί φακοί, αυτοκινητοβιομηχανία, ηλεκτρονικά είδη, έπιπλα και οικιακές συσκευές, εξαρτήματα μπάνιου, υλικά συσκευασίας και πλαστικά διακοσμητικά στοιχεία.

-Το άρθρο αυτό δημοσιεύτηκε από κατασκευαστής εξοπλισμού επίστρωσης κενού Ζενχουά Σκούπα