A vákuumbevonó technológia számos kulcsfontosságú előnyt kínál, beleértve a környezetbarát jelleget, a nagy hatékonyságot, a kiváló filmegyenletességet és a kiváló bevonatsűrűséget. A vákuumbevonó berendezések általában a következő típusokra oszthatók:
1. Fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) berendezések
1.1 Vákuumpárologtató bevonóberendezés
A vákuumos bepárlásos bevonat főként az ellenállásos melegítéssel történő bepárlást, az elektronsugaras bepárlást, más néven E-sugaras bepárlást foglalja magában.
1.2 Porlasztásos bevonóberendezés
A porlasztó bevonó berendezések főként a következőket foglalják magukban: DC porlasztás; RF porlasztás; Közepes frekvenciájú porlasztás
1.3 Ionbevonó berendezések
Az ionbevonó berendezések főként a következőket foglalják magukban: katódos íves ionbevonatolás
2. Kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) berendezések
A kémiai gőzfázisú leválasztó berendezések a következő típusokra oszthatók:
2.1 Légköri nyomáson végzett kémiai gőzfázisú leválasztás (APCVD)
2.2 Alacsony nyomású kémiai gőzfázisú leválasztás (LPCVD)
2.3 Plazma-erősítésű kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD)
2.4 Fémorganikus kémiai gőzfázisú leválasztás (MOCVD)
2.5 Atomi rétegleválasztás (ALD)
Alkalmazási iparágak
A vákuumbevonó berendezéseket széles körben használják számos iparágban, beleértve a következőket: félvezetők, új energiaforrások, drónok, intelligens viselhető eszközök, optikai lencsék, autóipar, elektronika, bútorok és háztartási gépek, fürdőszobai szerelvények, csomagolóanyagok és műanyag szegélylécek.
-Ezt a cikket a következő publikálta: vákuumbevonó berendezések gyártója Zhenhua vákuum
Közzététel ideje: 2026. április 29.