Vakuuma pārklāšanas tehnoloģijai ir vairākas būtiskas priekšrocības, tostarp videi draudzīgums, augsta efektivitāte, lieliska plēves vienmērība un lielāks pārklājuma blīvums. Vakuuma pārklāšanas iekārtas parasti var iedalīt šādos veidos:
1. Fizikālās tvaiku pārklāšanas (PVD) iekārtas
1.1 Vakuuma iztvaikošanas pārklāšanas iekārtas
Vakuuma iztvaikošanas pārklājums galvenokārt ietver: pretestības sildīšanas iztvaikošanu; elektronu staru iztvaikošanu, kas pazīstama arī kā E-staru iztvaikošana
1.2 Izsmidzināšanas pārklāšanas iekārtas
Izsmidzināšanas pārklāšanas iekārtas galvenokārt ietver: līdzstrāvas izsmidzināšanu; radiofrekvences izsmidzināšanu; vidējas frekvences izsmidzināšanu
1.3 Jonu pārklāšanas iekārtas
Jonu pārklāšanas iekārtas galvenokārt ietver: katodisko loka jonu pārklāšanu
2. Ķīmiskās tvaiku pārklāšanas (CVD) iekārtas
Ķīmiskās tvaiku uzklāšanas iekārtas var iedalīt šādos veidos:
2.1 Ķīmiskā tvaiku pārklāšana atmosfēras spiedienā (APCVD)
2.2 Zemspiediena ķīmiskā tvaiku pārklāšana (LPCVD)
2.3 Plazmas pastiprināta ķīmiskā tvaiku pārklāšana (PECVD)
2.4 Metālorganiskā ķīmiskā tvaiku pārklāšana (MOCVD)
2.5 Atomārā slāņa uzklāšana (ALD)
Lietojumprogrammu nozares
Vakuuma pārklāšanas iekārtas tiek plaši izmantotas dažādās nozarēs, tostarp: pusvadītājos, jaunās enerģijas avotos, dronos, viedierīcēs, optiskajās lēcās, automobiļos, elektronikā, mēbelēs un sadzīves tehnikā, vannas istabas furnitūrā, iepakojuma materiālos un plastmasas apdares detaļās.
— Šo rakstu publicēja vakuuma pārklāšanas iekārtu ražotājs Zhenhua vakuums
Publicēšanas laiks: 2026. gada 29. aprīlis