Vakuumli qoplama texnologiyasi bir qator muhim afzalliklarni taqdim etadi, jumladan, ekologik tozalik, yuqori samaradorlik, ajoyib plyonka bir xilligi va yuqori qoplama zichligi. Vakuumli qoplama uskunalari odatda quyidagi turlarga bo'linishi mumkin:
1. Fizik bug'larni cho'ktirish (PVD) uskunasi
1.1 Vakuumli bug'lanish qoplama uskunalari
Vakuumli bug'lanish qoplamasi asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi: qarshilik isitish bug'lanishi; elektron nurlarining bug'lanishi, shuningdek, E-nur bug'lanishi deb ham ataladi
1.2 Purkash qoplama uskunalari
Purkash qoplama uskunalari asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi: DC purkash; RF purkash; O'rta chastotali purkash
1.3 Ion qoplama uskunalari
Ion qoplama uskunalari asosan quyidagilarni o'z ichiga oladi: katodik yoyli ion qoplamasi
2. Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (KVD) uskunalari
Kimyoviy bug'larni cho'ktirish uskunalarini quyidagi turlarga bo'lish mumkin:
2.1 Atmosfera bosimi ostida kimyoviy bug'lanish (APCVD)
2.2 Past bosimli kimyoviy bug' cho'kishi (LPCVD)
2.3 Plazma bilan kuchaytirilgan kimyoviy bug'lanish (PECVD)
2.4 Metall organik kimyoviy bug'lanish cho'kmasi (MOCVD)
2.5 Atom qatlamining cho'kishi (ALD)
Qo'llash sohalari
Vakuumli qoplama uskunalari turli sohalarda, jumladan: yarimo'tkazgichlar, yangi energiya, dronlar, aqlli taqiladigan qurilmalar, optik linzalar, avtomobilsozlik, elektronika, mebel va maishiy texnika, hammom jihozlari, qadoqlash materiallari va plastik bezak komponentlarida keng qo'llaniladi.
-Ushbu maqola nashr etilgan vakuumli qoplama uskunalari ishlab chiqaruvchisi Zhenhua vakuumi
Nashr vaqti: 2026-yil 29-aprel