Hutsean estaltzeko teknologiak hainbat abantaila nagusi eskaintzen ditu, besteak beste, ingurumenarekiko errespetua, eraginkortasun handia, filmaren uniformetasun bikaina eta estaldura-dentsitate handiagoa. Hutsean estaltzeko ekipoak, oro har, mota hauetan sailka daitezke:
1. Lurrun-deposizio fisikoa (PVD) ekipamendua
1.1 Hutsean lurruntzeko estaldura ekipamendua
Hutsean lurruntzeko estaldurak honako hauek ditu batez ere: erresistentzia-berokuntzaren lurruntzea; elektroi-izpien lurruntzea, E-izpien lurruntzea bezala ere ezagutzen dena
1.2 Sputtering estaldura ekipamendua
Sputtering estaldura ekipamenduak honako hauek ditu batez ere: DC sputtering; RF sputtering; Ertaineko maiztasuneko sputtering
1.3 Ioi-plakatze ekipamendua
Ioi-plakatze ekipamenduak batez ere hauek barne hartzen ditu: arku katodikoaren ioi-plakatzea
2. Lurrun-deposizio kimikoa (CVD) ekipamendua
Lurrun kimikoen deposizio ekipoak honako mota hauetan sailka daitezke:
2.1 Presio Atmosferikoko Lurrun Kimikoko Deposizioa (APCVD)
2.2 Presio Baxuko Lurrun Kimikoen Deposizioa (LPCVD)
2.3 Plasma bidezko lurrun-deposizio kimiko hobetua (PECVD)
2.4 Metal Organiko Kimiko Lurrun Deposizioa (MOCVD)
2.5 Geruza Atomikoen Deposizioa (ALD)
Aplikazio Industriak
Hutsean estaltzeko ekipoak hainbat industriatan erabiltzen dira, besteak beste: erdieroaleak, energia berria, droneak, jantzi adimendunak, lente optikoak, automobilgintza, elektronika, altzariak eta etxetresna elektrikoak, bainugelako osagarriak, ontziratzeko materialak eta plastikozko apaingarrien osagaiak.
-Artikulu hau argitaratu du hutsean estaltzeko ekipoen fabrikatzailea Zhenhua xurgagailua
Argitaratze data: 2026ko apirilaren 29a