ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດປະເພດຫຼັກແມ່ນຫຍັງ?

ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຢ່າງ, ລວມທັງຄວາມເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ, ປະສິດທິພາບສູງ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຟິມທີ່ດີເລີດ, ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການເຄືອບທີ່ດີກວ່າ. ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດໂດຍທົ່ວໄປສາມາດຈັດປະເພດໄດ້ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ອຸປະກອນການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD)

1.1 ອຸປະກອນເຄືອບລະເຫີຍສູນຍາກາດ

ການເຄືອບລະເຫີຍສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບມີ: ການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຕ້ານທານ; ການລະເຫີຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າການລະເຫີຍລຳແສງອີ

1.2 ອຸປະກອນເຄືອບສະເປເຕີຣິງ

ອຸປະກອນເຄືອບສະເປເຕີຣິງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບມີ: ສະເປເຕີຣິງ DC; ສະເປເຕີຣິງ RF; ສະເປເຕີຣິງຄວາມຖີ່ກາງ

1.3 ອຸປະກອນຊຸບໄອອອນ

ອຸປະກອນຊຸບໄອອອນສ່ວນໃຫຍ່ປະກອບມີ: ການຊຸບໄອອອນແບບກາໂຕດອາກ

2. ອຸປະກອນການລະລາຍໄອເຄມີ (CVD)

ອຸປະກອນການວາງໄອນ້ຳເຄມີສາມາດຈັດປະເພດໄດ້ດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

2.1 ການຕົກຕະກອນຂອງອາຍເຄມີໃນຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດ (APCVD)
2.2 ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳເຄມີຄວາມດັນຕ່ຳ (LPCVD)
2.3 ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ (PECVD)
2.4 ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳເຄມີອິນຊີໂລຫະ (MOCVD)
2.5 ການຕົກຕະກອນຂອງຊັ້ນອະຕອມ (ALD)
ອຸດສາຫະກຳປະຍຸກ

ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ, ລວມທັງ: ເຄິ່ງຕົວນຳ, ພະລັງງານໃໝ່, ໂດຣນ, ອຸປະກອນສວມໃສ່ອັດສະລິຍະ, ເລນສາຍຕາ, ຍານຍົນ, ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າ, ເຟີນີເຈີ ແລະ ເຄື່ອງໃຊ້ໃນຄົວເຮືອນ, ອຸປະກອນຫ້ອງນ້ຳ, ວັດສະດຸຫຸ້ມຫໍ່ ແລະ ສ່ວນປະກອບຕົບແຕ່ງພາດສະຕິກ.

- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua