Waa maxay Noocyada ugu Muhiimsan ee Qalabka Dahaadhka Faakuumka?

Tiknoolajiyada dahaarka faakuumka waxay bixisaa dhowr faa'iido oo muhiim ah, oo ay ku jiraan saaxiibtinimo deegaanka, hufnaan sare, isku mid ahaanshaha filimka oo aad u fiican, iyo cufnaanta dahaarka oo aad u sareysa. Qalabka dahaarka faakuumka guud ahaan waxaa loo kala saari karaa noocyada soo socda:

1. Qalabka Dhigista Uumiga Jirka (PVD)

1.1 Qalabka Dahaadhka Uumiga Faakuumka

Dahaarka uumi-baxa faakuumka waxaa inta badan ka mid ah: uumi-baxa kulaylka iska caabbinta; uumi-baxa shucaaca elektarooniga ah, oo sidoo kale loo yaqaan uumi-baxa E-beam

1.2 Qalabka Dahaarka Sputtering

Qalabka dahaarka xoqidda waxaa inta badan ka mid ah: DC sputtering; RF sputtering; Sputtering soo noqnoqoshada dhexdhexaadka ah

1.3 Qalabka Dahaadhka Ion

Qalabka dahaadhka ion-ka waxaa inta badan ka mid ah: dahaadhka ion-ka cathodic-ka

2. Qalabka Kaydinta Uumiga Kiimikada (CVD)

Qalabka dhigista uumiga kiimikada waxaa loo kala saari karaa noocyada soo socda:

2.1 Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Cadaadiska Hawada (APCVD)
2.2 Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Cadaadiska Hoose (LPCVD)
2.3 Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Balaasma-ka ee La Kordhiyay (PECVD)
2.4 Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Birta ah (MOCVD)
2.5 Kala-soocidda Lakabka Atomiga (ALD)
Warshadaha Codsiga

Qalabka dahaarka faakuumka waxaa si weyn loogu isticmaalaa warshado kala duwan, oo ay ku jiraan: Semiconductors, tamar cusub, diyaaradaha aan duuliyaha lahayn, qalabka casriga ah ee la xidho, muraayadaha indhaha, baabuurta, elektarooniga, alaabta guriga iyo qalabka guryaha, qalabka musqusha, agabka baakadaha iyo qaybta balaastikada ah.

-Maqaalkan waxaa daabacay Soo saaraha qalabka dahaarka faakuumka Faakiyuum Zhenhua