Вакуумдық жабын технологиясы бірнеше негізгі артықшылықтарды ұсынады, соның ішінде қоршаған ортаға зиянсыздық, жоғары тиімділік, тамаша қабықша біркелкілігі және жоғары тығыздық. Вакуумдық жабын жабдықтарын әдетте келесі түрлерге жіктеуге болады:
1. Физикалық бу тұндыру (PVD) жабдығы
1.1 Вакуумдық булану жабыны жабыны
Вакуумдық булану жабыны негізінен мыналарды қамтиды: кедергілі қыздыру булануы; электронды сәуленің булануы, сондай-ақ E-сәуленің булануы деп аталады
1.2 Шашырату жабыны жабдығы
Шашырату жабын жабдықтарына негізінен мыналар кіреді: тұрақты токты шашырату; радиожиілікті шашырату; орташа жиілікті шашырату
1.3 Иондық қаптама жабдықтары
Иондық қаптау жабдықтары негізінен мыналарды қамтиды: катодтық доғалық иондық қаптау
2. Химиялық бу тұндыру (ХБТ) жабдығы
Химиялық бу тұндыру жабдықтарын келесі түрлерге жіктеуге болады:
2.1 Атмосфералық қысымдағы химиялық будың тұндырылуы (APCVD)
2.2 Төмен қысымды химиялық будың тұндырылуы (ТҚХБ)
2.3 Плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD)
2.4 Металл органикалық химиялық будың тұндырылуы (MOCVD)
2.5 Атомдық қабаттың тұндырылуы (ALD)
Қолдану салалары
Вакуумдық жабын жабдықтары әртүрлі салаларда кеңінен қолданылады, соның ішінде: жартылай өткізгіштер, жаңа энергия, дрондар, ақылды киілетін құрылғылар, оптикалық линзалар, автомобильдер, электроника, жиһаз және тұрмыстық техника, жуынатын бөлме жиһаздары, қаптама материалдары және пластикалық әрлеу компоненттері.
- Бұл мақаланы жариялаған вакуумдық жабын жабдықтарын өндіруші Чжэньхуа шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 29 сәуір