Tá roinnt buntáistí tábhachtacha ag baint le teicneolaíocht sciath folúis, lena n-áirítear cairdiúlacht don chomhshaol, ardéifeachtúlacht, aonfhoirmeacht scannáin den scoth, agus dlús sciath níos fearr. Is féidir trealamh sciath folúis a aicmiú go ginearálta sna cineálacha seo a leanas:
1. Trealamh Taiscthe Gaile Fisiciúil (PVD)
1.1 Trealamh Cumhdaigh Galúcháin Folúis
Áirítear leis an sciath galúcháin folúis den chuid is mó: galú teasa friotaíochta; galú bhíoma leictreon, ar a dtugtar galú E-bhíoma freisin
1.2 Trealamh Cumhdaigh Spútála
Áirítear leis an trealamh sciath spútarála den chuid is mó: spútaráil DC; spútaráil RF; spútaráil meánmhinicíochta
1.3 Trealamh Plátála Ian
Áirítear leis an trealamh plátála ian go príomha: plátáil ian stua catóideach
2. Trealamh um Thaisceadh Gaile Ceimiceach (CVD)
Is féidir trealamh taiscthe gaile ceimicigh a aicmiú sna cineálacha seo a leanas:
2.1 Taisceadh Ceimiceach Gaile faoi Bhrú Atmaisféarach (APCVD)
2.2 Taisceadh Gaile Ceimiceach Ísealbhrú (LPCVD)
2.3 Taisceadh Ceimiceach Gaile Feabhsaithe le Plasma (PECVD)
2.4 Taisceadh Gaile Ceimiceach Orgánach Miotail (MOCVD)
2.5 Taisceadh Sraithe Adamhach (ALD)
Tionscail Iarratais
Úsáidtear trealamh sciath folúis go forleathan i dtionscail éagsúla, lena n-áirítear: leathsheoltóirí, fuinneamh nua, dróin, gléasanna inchaite cliste, lionsaí optúla, gluaisteáin, leictreonaic, troscán agus fearais tí, feistis seomra folctha, ábhair phacáistithe agus comhpháirteanna maisiúcháin phlaisteacha.
-Foilsíodh an t-alt seo ag monaróir trealaimh sciath folúis Folúsghlantóir Zhenhua
Am an phoist: 29 Aibreán 2026