Lofttæmishúðunartækni býður upp á nokkra lykilkosti, þar á meðal umhverfisvænni, mikla skilvirkni, framúrskarandi einsleitni filmu og yfirburða húðunarþéttleika. Lofttæmishúðunarbúnaður má almennt flokka í eftirfarandi gerðir:
1. Búnaður til að útfella gufu (PVD)
1.1 Tómarúmgufuhúðunarbúnaður
Lofttæmisgufuhúðun felur aðallega í sér: uppgufun með viðnámshitun; uppgufun með rafeindageisla, einnig þekkt sem E-geisla uppgufun
1.2 Spúttunarhúðunarbúnaður
Búnaður til spúttunarhúðunar inniheldur aðallega: jafnstraumsspúttrun; RF-spúttrun; miðlungstíðnispúttrun
1.3 Jónhúðunarbúnaður
Jónhúðunarbúnaður felur aðallega í sér: jónhúðun með kaþóðboga
2. Búnaður til efnafræðilegrar gufuútfellingar (CVD)
Hægt er að flokka búnað til efnagufuútfellingar í eftirfarandi gerðir:
2.1 Efnafræðileg gufuútfelling við loftþrýsting (APCVD)
2.2 Lágþrýstings efnagufuútfelling (LPCVD)
2.3 Plasma-aukið efnagufuútfelling (PECVD)
2.4 Útfelling málma úr lífrænum efnum í gufu (MOCVD)
2.5 Útfelling atómlags (ALD)
Umsóknariðnaður
Lofttæmingarbúnaður er mikið notaður í ýmsum atvinnugreinum, þar á meðal: Hálfleiðara, nýrri orku, dróna, snjalltæki, sjóngler, bílaiðnað, rafeindatækni, húsgögn og heimilistæki, baðherbergisinnréttingar, umbúðaefni og plastíhluti.
-Þessi grein var birt af framleiðandi tómarúmhúðunarbúnaðar Zhenhua tómarúm
Birtingartími: 29. apríl 2026