Vakuumbeleggteknologi tilbyr flere viktige fordeler, inkludert miljøvennlighet, høy effektivitet, utmerket filmjevnhet og overlegen beleggtetthet. Vakuumbeleggutstyr kan generelt klassifiseres i følgende typer:
1. Utstyr for fysisk dampavsetning (PVD)
1.1 Utstyr for vakuumfordampningsbelegg
Vakuumfordampningsbelegg omfatter hovedsakelig: motstandsoppvarmingsfordampning; elektronstrålefordampning, også kjent som E-strålefordampning
1.2 Utstyr for sputteringbelegg
Utstyr for sputteringbelegg omfatter hovedsakelig: DC-sputtering; RF-sputtering; Mediumfrekvens-sputtering
1.3 Ionepletteringsutstyr
Ionepletteringsutstyr omfatter hovedsakelig: katodisk bueioneplettering
2. Utstyr for kjemisk dampavsetning (CVD)
Utstyr for kjemisk dampavsetning kan klassifiseres i følgende typer:
2.1 Kjemisk dampavsetning under atmosfærisk trykk (APCVD)
2.2 Lavtrykkskjemisk dampavsetning (LPCVD)
2.3 Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
2.4 Metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD)
2.5 Atomlagsavsetning (ALD)
Bruksområder
Vakuumbeleggsutstyr er mye brukt i ulike bransjer, inkludert: Halvledere, ny energi, droner, smarte bærbare enheter, optiske linser, bilindustri, elektronikk, møbler og husholdningsapparater, baderomsinnredning, emballasjematerialer og plastdetaljer.
– Denne artikkelen ble publisert av produsent av vakuumbeleggsutstyr Zhenhua Vakuum
Publisert: 29. april 2026