Tyhjiöpinnoitustekniikka tarjoaa useita keskeisiä etuja, kuten ympäristöystävällisyyden, korkean hyötysuhteen, erinomaisen kalvon tasaisuuden ja erinomaisen pinnoitteen tiheyden. Tyhjiöpinnoituslaitteet voidaan yleensä luokitella seuraaviin tyyppeihin:
1. Fysikaalisen höyrypinnoituksen (PVD) laitteet
1.1 Tyhjiöhaihdutuspäällystyslaitteet
Tyhjiöhöyrystyspinnoitus sisältää pääasiassa: vastuskuumennushöyrystyksen; elektronisuihkuhöyrystyksen, joka tunnetaan myös nimellä E-suihkuhöyrystys
1.2 Sputterointipinnoituslaitteet
Sputterointipinnoituslaitteet sisältävät pääasiassa: DC-sputteroinnin, RF-sputteroinnin, keskitaajuisen sputteroinnin
1.3 Ionipinnoituslaitteet
Ionipinnoituslaitteet sisältävät pääasiassa: katodisen kaari-ionipinnoituksen
2. Kemiallisen höyrypinnoituksen (CVD) laitteet
Kemiallisen höyrypinnoituksen laitteet voidaan luokitella seuraaviin tyyppeihin:
2.1 Ilmakehän paineessa tapahtuva kemiallinen höyrypinnoitus (APCVD)
2.2 Matalapaineinen kemiallinen höyrypinnoitus (LPCVD)
2.3 Plasmatehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD)
2.4 Metallien orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD)
2.5 Atomikerroskasvatus (ALD)
Sovellusteollisuudenalat
Tyhjiöpinnoituslaitteita käytetään laajalti useilla eri teollisuudenaloilla, mukaan lukien: puolijohteet, uudet energialähteet, droonit, älykkäät puettavat laitteet, optiset linssit, autoteollisuus, elektroniikka, huonekalut ja kodinkoneet, kylpyhuonekalusteet, pakkausmateriaalit ja muoviset koriste-osat.
–Tämä artikkeli on julkaistu tyhjiöpinnoituslaitteiden valmistaja Zhenhua-tyhjiö
Julkaisuaika: 29.4.2026