Vaakumkatmistehnoloogial on mitmeid olulisi eeliseid, sealhulgas keskkonnasõbralikkus, kõrge efektiivsus, suurepärane kile ühtlus ja parem katte tihedus. Vaakumkatmisseadmeid saab üldiselt liigitada järgmistesse tüüpidesse:
1. Füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) seadmed
1.1 Vaakumaurustuskatte seadmed
Vaakumaurustuskatmine hõlmab peamiselt: takistuskuumutusega aurustamist; elektronkiire aurustamist, tuntud ka kui E-kiire aurustamist
1.2 Pihustuskatte seadmed
Pihustuskatte seadmed hõlmavad peamiselt: alalisvoolu pihustamist; raadiosageduslikku pihustamist; keskmise sagedusega pihustamist
1.3 Ioonplaadistusseadmed
Ioonkatmisseadmed hõlmavad peamiselt: katoodkaar-ioonkatmist
2. Keemilise aurustamise (CVD) seadmed
Keemilise aurustamise seadmed võib jagada järgmistesse tüüpidesse:
2.1 Atmosfäärirõhul toimuv keemiline aurustamine-sadestamine (APCVD)
2.2 Madalrõhu keemiline aurustamine (LPCVD)
2.3 Plasma abil võimendatud keemiline aurustamine (PECVD)
2.4 Metallorgaaniline keemiline aurustamine (MOCVD)
2.5 Aatomkihtsadestamine (ALD)
Rakendusvaldkonnad
Vaakumkatmisseadmeid kasutatakse laialdaselt erinevates tööstusharudes, sealhulgas: pooljuhtides, uue energia, droonide, nutikate kantavate seadmete, optiliste läätsede, autotööstuse, elektroonika, mööbli ja kodumasinate, vannitoa sisustuse, pakkematerjalide ja plastdetailide osas.
-See artikkel avaldati vaakumkatmisseadmete tootja Zhenhua vaakum
Postituse aeg: 29. aprill 2026