ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಮುಖ್ಯ ವಿಧಗಳು ಯಾವುವು?

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಪರಿಸರ ಸ್ನೇಹಪರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಫಿಲ್ಮ್ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಲೇಪನ ಸಾಂದ್ರತೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಹಲವಾರು ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಕಾರಗಳಾಗಿ ವರ್ಗೀಕರಿಸಬಹುದು:

1. ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ಉಪಕರಣಗಳು

1.1 ನಿರ್ವಾತ ಬಾಷ್ಪೀಕರಣ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆ

ನಿರ್ವಾತ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಲೇಪನವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ: ಪ್ರತಿರೋಧ ತಾಪನ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ; ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣದ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ, ಇದನ್ನು ಇ-ಕಿರಣದ ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಎಂದೂ ಕರೆಯುತ್ತಾರೆ.

1.2 ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆ

ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ: ಡಿಸಿ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್; ಆರ್ಎಫ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್; ಮಧ್ಯಮ-ಆವರ್ತನ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್

೧.೩ ಅಯಾನ್ ಪ್ಲೇಟಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳು

ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಇವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ: ಕ್ಯಾಥೋಡಿಕ್ ಆರ್ಕ್ ಅಯಾನ್ ಲೇಪನ

2. ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಉಪಕರಣಗಳು

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣಾ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಕಾರಗಳಾಗಿ ವರ್ಗೀಕರಿಸಬಹುದು:

2.1 ವಾತಾವರಣದ ಒತ್ತಡ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (APCVD)
2.2 ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (LPCVD)
2.3 ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PECVD)
2.4 ಲೋಹದ ಸಾವಯವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (MOCVD)
೨.೫ ಪರಮಾಣು ಪದರ ಶೇಖರಣೆ (ALD)
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳು

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ: ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳು, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಡ್ರೋನ್‌ಗಳು, ಸ್ಮಾರ್ಟ್ ಧರಿಸಬಹುದಾದ ವಸ್ತುಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೆನ್ಸ್‌ಗಳು, ಆಟೋಮೋಟಿವ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಪೀಠೋಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಗೃಹೋಪಯೋಗಿ ಉಪಕರಣಗಳು, ಸ್ನಾನಗೃಹ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್‌ಗಳು, ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್ ಟ್ರಿಮ್ ಘಟಕ.

- ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರು ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆ ತಯಾರಕ ಝೆನ್ಹುವಾ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್