ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପରିବେଶଗତ ବନ୍ଧୁତ୍ୱ, ଉଚ୍ଚ ଦକ୍ଷତା, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ ସମାନତା ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଆବରଣ ଘନତା ସମେତ ଅନେକ ପ୍ରମୁଖ ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ସାଧାରଣତଃ ନିମ୍ନଲିଖିତ ପ୍ରକାରରେ ବର୍ଗୀକୃତ କରାଯାଇପାରିବ:
୧. ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PVD) ଉପକରଣ
୧.୧ ଶୂନ୍ୟ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ ଉପକରଣ
ଶୂନ୍ୟ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: ପ୍ରତିରୋଧ ତାପମାନ ବାଷ୍ପୀଭବନ; ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ, ଯାହାକୁ ଇ-ବିମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ
୧.୨ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଉପକରଣ
ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଉପକରଣରେ ମୁଖ୍ୟତଃ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: ଡିସି ସ୍ପଟରିଂ; ଆରଏଫ ସ୍ପଟରିଂ; ମଧ୍ୟମ-ଆବୃତ୍ତି ସ୍ପଟରିଂ
୧.୩ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଉପକରଣ
ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ
2. ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (CVD) ଉପକରଣ
ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ନିମ୍ନଲିଖିତ ପ୍ରକାରରେ ବର୍ଗୀକୃତ କରାଯାଇପାରେ:
୨.୧ ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଚାପ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (APCVD)
୨.୨ ନିମ୍ନ ଚାପ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (LPCVD)
୨.୩ ପ୍ଲାଜମା ଉନ୍ନତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PECVD)
୨.୪ ଧାତୁ ଜୈବ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (MOCVD)
୨.୫ ପରମାଣୁ ସ୍ତର ନିକ୍ଷେପ (ALD)
ଆପ୍ଲିକେସନ୍ ଶିଳ୍ପ
ଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ଉପକରଣ ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯଥା: ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ନୂତନ ଶକ୍ତି, ଡ୍ରୋନ୍, ସ୍ମାର୍ଟ ପିନ୍ଧିବା ଯୋଗ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ, ଅଟୋମୋଟିଭ୍, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଫର୍ଣ୍ଣିଚର ଏବଂ ଘରୋଇ ଉପକରଣ, ବାଥରୁମ୍ ଫିଟିଂ, ପ୍ୟାକେଜିଂ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍ ଟ୍ରିମ୍ ଉପାଦାନ।
-ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା ଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଏପ୍ରିଲ-୨୯-୨୦୨୬