La technologie de revêtement sous vide offre plusieurs avantages clés, notamment le respect de l'environnement, une efficacité élevée, une excellente uniformité du film et une densité de revêtement supérieure. Les équipements de revêtement sous vide peuvent généralement être classés dans les types suivants :
1. Équipement de dépôt physique en phase vapeur (PVD)
1.1 Équipement de revêtement par évaporation sous vide
Le revêtement par évaporation sous vide comprend principalement : l’évaporation par chauffage par résistance ; l’évaporation par faisceau d’électrons, également appelée évaporation par faisceau E.
1.2 Équipement de revêtement par pulvérisation cathodique
Les équipements de pulvérisation cathodique comprennent principalement : la pulvérisation cathodique à courant continu ; la pulvérisation cathodique à radiofréquence ; la pulvérisation cathodique à moyenne fréquence.
1.3 Équipement de placage ionique
L'équipement de placage ionique comprend principalement : le placage ionique par arc cathodique
2. Équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Les équipements de dépôt chimique en phase vapeur peuvent être classés dans les types suivants :
2.1 Dépôt chimique en phase vapeur à pression atmosphérique (APCVD)
2.2 Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
2.3 Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
2.4 Dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD)
2.5 Dépôt de couches atomiques (ALD)
Secteurs d'application
Les équipements de revêtement sous vide sont largement utilisés dans diverses industries, notamment : les semi-conducteurs, les énergies nouvelles, les drones, les objets connectés intelligents, les lentilles optiques, l'automobile, l'électronique, le mobilier et les appareils ménagers, les accessoires de salle de bains, les matériaux d'emballage et les composants de garniture en plastique.
Cet article a été publié par fabricant d'équipements de revêtement sous vide Zhenhua Vacuum
Date de publication : 29 avril 2026