Vakuumbeläggningsteknik erbjuder flera viktiga fördelar, inklusive miljövänlighet, hög effektivitet, utmärkt filmjämnhet och överlägsen beläggningstäthet. Vakuumbeläggningsutrustning kan generellt klassificeras i följande typer:
1. Utrustning för fysisk ångdeponering (PVD)
1.1 Utrustning för vakuumindunstningsbeläggning
Vakuumindunstningsbeläggning omfattar huvudsakligen: motståndsuppvärmningsindunstning; elektronstråleindunstning, även känd som E-stråleindunstning
1.2 Utrustning för sputteringbeläggning
Utrustning för sputtering och beläggning omfattar huvudsakligen: DC-sputtring; RF-sputtring; Mellanfrekvenssputtring
1.3 Jonpläteringsutrustning
Jonpläteringsutrustning omfattar huvudsakligen: katodisk bågjonplätering
2. Utrustning för kemisk ångdeponering (CVD)
Utrustning för kemisk ångavsättning kan klassificeras i följande typer:
2.1 Kemisk ångdeposition vid atmosfärstryck (APCVD)
2.2 Lågtryckskemisk ångdeponering (LPCVD)
2.3 Plasmaförstärkt kemisk ångdeponering (PECVD)
2.4 Metallorganisk kemisk ångdeponering (MOCVD)
2.5 Atomlageravsättning (ALD)
Applikationsindustrier
Vakuumbeläggningsutrustning används ofta inom olika branscher, inklusive: Halvledare, ny energi, drönare, smarta bärbara enheter, optiska linser, fordonsindustrin, elektronik, möbler och hushållsapparater, badrumsinredning, förpackningsmaterial och plastdetaljer.
-Denna artikel publicerades av tillverkare av vakuumbeläggningsutrustning Zhenhua Vacuum
Publiceringstid: 29 april 2026