රික්තක ආලේපන උපකරණවල ප්‍රධාන වර්ග මොනවාද?

රික්ත ආලේපන තාක්ෂණය පරිසර හිතකාමීත්වය, ඉහළ කාර්යක්ෂමතාව, විශිෂ්ට පටල ඒකාකාරිත්වය සහ උසස් ආලේපන ඝනත්වය ඇතුළු ප්‍රධාන වාසි කිහිපයක් ලබා දෙයි. රික්ත ආලේපන උපකරණ සාමාන්‍යයෙන් පහත වර්ග වලට වර්ග කළ හැකිය:

1. භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PVD) උපකරණ

1.1 රික්තක වාෂ්පීකරණ ආලේපන උපකරණ

රික්තක වාෂ්පීකරණ ආලේපනයට ප්‍රධාන වශයෙන් ඇතුළත් වන්නේ: ප්‍රතිරෝධක තාපන වාෂ්පීකරණය; ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණය, E-කදම්භ වාෂ්පීකරණය ලෙසද හැඳින්වේ

1.2 ඉසින ආලේපන උපකරණ

ස්පුටරින් ආලේපන උපකරණවලට ප්‍රධාන වශයෙන් ඇතුළත් වන්නේ: DC ස්පුටරින්; RF ස්පුටරින්; මධ්‍යම සංඛ්‍යාත ස්පුටරින්

1.3 අයන ආලේපන උපකරණ

අයන ආලේපන උපකරණවලට ප්‍රධාන වශයෙන් ඇතුළත් වන්නේ: කැතෝඩ චාප අයන ආලේපනය

2. රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) උපකරණ

රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ උපකරණ පහත දැක්වෙන වර්ග වලට වර්ග කළ හැකිය:

2.1 වායුගෝලීය පීඩනය රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (APCVD)
2.2 අඩු පීඩන රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (LPCVD)
2.3 ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PECVD)
2.4 ලෝහ කාබනික රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (MOCVD)
2.5 පරමාණුක ස්ථර තැන්පත් කිරීම (ALD)
යෙදුම් කර්මාන්ත

රික්ත ආලේපන උපකරණ විවිධ කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ, ඒවා අතර: අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ඩ්‍රෝන යානා, ස්මාර්ට් පැළඳිය හැකි උපකරණ, දෘශ්‍ය කාච, මෝටර් රථ, ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ, ගෘහ භාණ්ඩ සහ ගෘහ උපකරණ, නාන කාමර උපාංග, ඇසුරුම් ද්‍රව්‍ය සහ ප්ලාස්ටික් ටිම් සංරචකය.

-මෙම ලිපිය ප්‍රකාශයට පත් කරන ලද්දේ රික්තක ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදකයා ෂෙන්හුවා රික්තකය